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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

本實用新型公開了一種板砌體墻體組合梁托換加固結構，涉及砌體結構墻體加固技術領域，緊貼在需要托換加固的砌體墻體表面上的加固鋼板；若干間隔設置在所述加固鋼板上的用于將所述加固鋼板緊固在需要托換加固的砌體墻體上的對拉螺栓；本實用新型的鋼板磚砌體組合梁托換加固結構有效地增大原砌體結構墻體托換成組合梁后的強度和整體剛度以及承載能力；本實用新型的加固鋼板、槽鋼和對拉螺栓組件采用工廠化制作，現場安裝，機械施工程度高，施工簡便，造價低；利用結構膠填充需要加固的砌體結構墻體與加固鋼板之間形成的空隙，不但改善了墻體的受

本發明涉及用于箱形主梁斜拉橋顫振控制的檢修軌道結構，其特征在于：在主梁的 斜腹板下緣設置檢修軌道結構，該檢修軌道結構由軌道和軌道支撐塊構成。本發明的斜 腹板下側設置檢修軌道的控制措施不但能將顫振臨界風速提升 10.8％，顯著提高了箱形 主梁斜拉橋結構的顫振穩定性能，而且經濟性能最佳，幾乎不需要增加工程造價，同時 滿足了主梁上檢修車移動檢修的要求。本發明的斜拉橋顫振控制檢修軌道結構是一種有 效的顫振控制措施。 

成果描述：本發明公開了一種用于盾構隧道施工的十二邊形管片，十二邊形管片的橫向兩端的邊緣為兩個共同呈“八”字形的長斜邊，十二邊形管片的縱向兩側邊緣中橫向長度較長的邊緣的一端向另一端依次形成長橫邊、短斜邊、內凹橫邊、短斜邊、長橫邊，十二邊形管片的縱向兩側邊緣中橫向長度較短的邊緣的一端向另一端依次形成短橫邊、短斜邊、內凹橫邊、短斜邊、短橫邊。本發明還公開了一種采用十二邊形管片組裝的管片襯砌結構，相鄰的十二邊形管片之間相互嵌入限位。本發明采用特定形狀的十二邊形管片，其自身形狀具有安裝導向的功能，管片的定位很容易；本發明采用十二邊形管片襯砌結構，能進行連續掘進和拼裝，顯著提高了施工效率和襯砌整體剛度。市場前景分析：軌道交通基礎設施建設領域。與同類成果相比的優勢分析：技術先進，性價比較高。

本發明涉及一種用于瀝青混凝土施工質量的智能質量管理方法，包括以下步驟：采集施工過程中施工材料的實時溫度；根據所述施工材料的溫度隨時間的降幅，建立溫度變化模型；利用所述溫度變化模型指導施工現場的調度。

隨著我國國家經濟的發展，人民生活水平的改善，對建筑物功能的要求 正逐步提高。平面尺寸超長、超寬的建筑物迅速涌現，且多用于大型公共建筑、 工業廠房、商業中心、機場停機及跑道等工程。鑒于建筑與結構的整體性、使 用功能和建設工期的要求，此類建筑的地面（或樓面）大多要求不設伸縮縫和 后澆帶，或伸縮縫間距超過現行規范要求。超大面積混凝土地面無縫施工技術, 是將超大面積混凝土地面按一定尺寸分為若干小塊體，相鄰塊體間隔施工， 過短期應力釋放，先澆筑混凝土經過收縮變形后，再將地面連接澆筑成一個整體, 依靠混凝土抗拉強度抵抗后期澆筑混凝土收縮、溫度應力的施工技術。

成果的背景及主要用途： 高效大跨度結構體系不僅關系到資源節約、施工便捷和效果美觀,更是一個 國家建筑技術水平的重要標志。傳統的梁板式結構用鋼量大效能低、單層網殼穩 定性差支座水平推力大、單一網格結構難以實現輕盈美觀,研發新型大跨體系成 為建筑結構技術發展的迫切需要。課題組在較早開展張拉整體體系研究的基礎上, 從 1998 年開始對張弦結構大跨度建筑結構體系進行系統研究,形成了張弦結構分 析設計理論和施工成套技術,解決了張弦結構基礎理論匱乏、分析方法欠缺和在 工程應用中受到結構選型、節點構造、施工方法和監測技術等多方面問題制約的 技術難題,為張弦結構的推廣應用和健康發展提供了重要的科學依據和關鍵技術 支撐。 技術原理與工藝流程簡介： 1、系統研究基于張拉整體思想的張弦結構體系，提出了發明專利-弦支筒殼 和弦支混凝土樓蓋等新型張弦結構形式，建立了平面、空間等張弦結構分類體系， 研發自制設備空氣加熱索膨脹系數測定儀和水域加熱索膨脹系數測定儀，測定了 張弦結構核心構件-拉索的膨脹系數，為張弦結構分析設計理論的建立奠定了基 礎。 2、確定了平面和平面組合型張弦結構的最優構成規律，揭示了平面和平面 組合型張弦結構靜動力特性和抗風性能，研發出專利技術—自平衡加載反力架并 試驗驗證了所提出的插板式拉索節點的安全性和便捷性，解決了平面及平面組合 型張弦結構分析計算和拉索連接節點方面的技術難題。 3、提出兩種弦支穹頂分類方法和預應力二階段分析方法，創建連續折線索 單元分析技術，建立了弦支穹頂從找形、預應力設定到結構性能分析的設計方法， 基于模型和實物試驗及理論分析揭示了弦支穹頂結構靜動力性能和穩定特性，研 發了空間張弦結構的節點專利技術—預應力鋼結構滾動式張拉索節點，形成弦支 穹頂分析設計理論體系，解決了弦支穹頂應用中分析設計和節點構造的技術難題。 4、研發出張弦結構施工工藝仿真系統，提出了預應力施加方法和摩擦損失 補償方法，開發了張弦結構健康監測系統，解決了張弦結構施工過程中的全過程 控制、監測、安全和預應力損失等方面的技術難題。提出了“地面整體拼裝、一 次張拉外斜索成形”的施工方法，突破了大跨度索穹頂結構張拉成形的技術瓶頸。 技術水平及專利與獲獎情況：天津大學科技成果選編 172 該項科研成果發表學術論文 72 篇（其中 SCI 檢索 9 篇、EI 檢索 27 篇）， 獲發明專利 7 項，實用新型專利 8 項，獲國家科學技術進步二等獎 1 項，天津和 北京市科技進步一等獎3項，省部級科技進步二等獎4項，達到了國際領先水平。 應用前景分析及效益預測： 本項目關鍵創新成果代表了現代大跨度結構技術的水平,引領了世界空間結 構技術的發展,提升了中國大跨度技術在世界工程領域的地位，增強了國際競爭 力，可應用于體育場館、會展中心、交通樞紐站房等國家重要基礎設施工程中。 項目發表論文 72 篇(9 篇 SCI、27 篇 EI),獲發明專利 7 項,成果編入 10 本 著作和 6 本規程,推動了土木工程學科發展, 培養了一批高素質的結構工程科技 人才，對現代大跨結構的技術進步以及推動中國空間結構從大國向強國邁進都具 有重要的意義。 應用領域： 該項目科研成果已應用于包括奧運會場館在內的近百項大跨度結構工程中， 可廣泛應用于大型體育場館、會展文化中心、重大交通樞紐、大型廠房等基礎設 施工程中，可推廣應用程度高，取得了巨大的經濟效益，工程節支總額超過二億 元，對我國大跨結構技術的發展具有顯著推動作用。 

本發明公開了一種可快速調平的預制拼裝橋墩結構及其施工方法，所述橋墩結構包括帶有“［”型凹槽的預制混凝土墩柱、套在預制混凝土墩柱節段下部的雙壁鋼底座、套在預制混凝土墩柱節段上部的雙壁鋼套筒、用于連接預制混凝土墩柱上、下相鄰節段的連接鋼筋及鋼筋連接器、安裝在“［”型凹槽內部的千斤頂、焊接在“［”型凹槽外部的鋼護罩。利用節段間預留的“［”型凹槽放置快速調平用的千斤頂，調平準確后用鋼筋連接器鎖定連接鋼筋，撤出千斤頂，在“［”型凹槽內灌注超延遲性無收縮砂漿保護連接的連接鋼筋。使用本發明可實現預制混凝土墩柱節段的可靠、精準拼接，同時還可以快速調平、定位，達到加快施工速度，節省施工工期的目的。