|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
復合型重金屬污染土壤改良劑及其應用和施用方法
本發明公開一種復合型重金屬污染土壤改良劑及其應用和施用方法，其包括如下組分：草木灰、鈣鎂磷肥、生石灰、沸石和有機肥，其重量的配比為：草木灰:鈣鎂磷肥:生石灰:沸石:羥基磷灰石:有機肥＝(0.3-1.1):(0.1-1.2):(0.4-2.1):(0.1-0.6):(0.008-0.06):(0.4-1.2)。其通過生石灰、鈣鎂磷肥、羥基磷灰石中的磷酸鹽、草木灰中的碳酸鉀等無機組分固定污染土壤中的重金屬，并結合草木灰、有機肥等有機肥料相改善污染土壤的肥力，持續強化受污染土壤的修復，具有較高的穩定性、良好的環境友好型、成本低廉，能夠鈍化并修復多種重金屬污染土壤，特別是對工礦企業排放廢渣造成的土壤污染有良好的修復效果，能夠達到治理目標，而且不會產生二次污染，易于大面積推廣。
四川大學
2016-10-21
一種基于壓力延滯滲透與反滲透的海水淡化裝置及其方法
本發明公開了一種基于壓力延滯滲透與反滲透的海水淡化裝置，包括濃度差動力單元、海水淡化單元以及位于兩個單元間的壓力傳遞元件。濃度差動力單元包括中空的一號海水腔和與之相鄰的中空的濃海水腔以及位于兩腔室間的滲透膜，該單元用于將不同濃度的海水間的鹽差能轉化為靜壓力。海水淡化單元包括中空的二號海水腔和與之·686·相鄰的中空的淡水腔以及位于兩腔室間只允許水分子透過的反滲透膜，在靜壓力下反滲透膜只允許水分子透過，從
華中科技大學
2021-04-14
一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其設計方法
本發明公開了一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其 設計方法。綜合半橋子模塊成本低、運行效率高及全橋子模塊可輸出 負電平的優勢，采用本發明所提出的零直流電壓故障穿越方案，根據 半橋子模塊與全橋子模塊額定電壓，并結合 MMC 直流側額定電壓及 交流側相電壓峰值，計算出半橋和全橋子模塊配置個數；得到的 MMC 可在保證其能實現零直流電壓故障穿越的前提下，有效降低變換器成 本及提高變換器的運行效率。本發明提出的技術方案并不局限于半橋子模塊和全橋子模塊的組合，還可以是半橋子模塊和其它能在非閉鎖 狀態
華中科技大學
2021-04-14
一種基于二氧化錫納米顆粒的光電邏輯門及其制備方法
本發明公開了一種基于二氧化錫納米顆粒的光電邏輯門及其制備方法，該光電邏輯門包括相互配合使用的第一正光電導器件和第一負光電導器件，用于接收第一光信號；第一正光電導器件采用二氧化錫納米顆粒；第一負光電導器件采用二氧化錫/碳納米管復合材料；第一正光電導器件和第一負光電導器件均具有供能電極和輸出電極；第一正光電導器件的輸出電極與第一負光電導器件的輸出電極相連，作為輸出邏輯運算結果的端口用于輸出邏輯運算結果，該邏輯運算結果受第一光信號影響。本發明利用二氧化錫/碳納米管復合材料的負光電導效應，提高了負光電導器件
華中科技大學
2021-04-14
輸出電容低ESR開關變換器雙緣PFM調制電壓型控制方法及其裝置
本成果來自國家科技計劃項目，現已結題，并獲得國家發明專利授權（ZL201310022469.0），知識產權屬于西南交通大學。該成果公開了一種輸出電容低ESR開關變換器雙緣PFM調制電壓型控制方法及其裝置，檢測流過輸出電容的電流ic以及輸出電壓Vo，將兩者相加得到信號Vos，電壓控制信號Vc與Vos經過時間運算器生成可變時間，結合預設的恒定時間，再經過控制時序生成器產生由恒定時間和可變時間組成的控制時序，控制開關變換器開關管的導通與關斷。本成果具有輸出電壓低紋波且無低頻振蕩、穩定范圍廣、瞬態響應速度快、穩壓精度高的優點。
西南交通大學
2016-06-27
一種固體氧化物燃料電池陰極氣體流場板及其制備方法
本發明公開了一種固體氧化物燃料電池陰極氣體流場板，用于 均勻分配氧化氣和收集陰極電流，其由多個相互平行連接且尺寸相同 的齒形波紋塊構成，齒形波紋塊由兩個錯開距離(7)后平行排列連接的 齒形波紋條(3，4)構成，齒形波紋條(3，4)由多個相互交替連接的平頂 凸臺(2)和平板(1)構成，平頂凸臺(2)呈齒形輪廓狀，平板(1)連接所述平 頂凸臺(2)的根部，以形成齒形波紋狀，平頂凸臺(2)橫截面形狀為等腰 梯形去掉下底邊后
華中科技大學
2021-04-14
一種賤金屬內電極疊層片式 ZnO 壓敏電阻器及其制備方法
本發明公開了一種賤金屬內電極疊層片式 ZnO 壓敏電阻器及其 制備方法，所述壓敏電阻器為瓷片和內電極依次層壓生成，其中所述 內電極材質為賤金屬鎳，所述壓敏電阻器的兩端涂有銀電極。本發明 具有以下有益效果：（1）本發明所使用的 ZnO 壓敏電阻材料配方適 用于還原再氧化制備工藝；（2）本發明采用賤金屬 Ni 為內電極，可 以大幅度降低多層片式壓敏電阻器制備成本；（3）采用傳統的固相燒 結方法，端銀的燒滲和瓷體氧化一次性
華中科技大學
2021-04-14
一種非易失性三維半導體存儲器及其制備方法
本發明公開了一種非易失性三維半導體存儲器及其制備方法， 包括多個垂直方向的三維 NAND 存儲串，每一個三維 NAND 存儲串 包括水平襯底、垂直于襯底的圓柱形半導體區域、分別位于半導體區 域上、下的第二電極和第一電極、包裹圓柱形半導體區域的隧穿電介 質、圍繞隧穿電介質上、下分布了多個分立的電荷存儲層、包裹了隧 穿電介質以及多個電荷存儲層的阻隔電介質層、與絕緣層相堆疊的控 制柵電極；圓柱形半導體區域包括多個存儲單元的
華中科技大學
2021-04-14
一種摻雜硅量子點發光二極管器件及其制備方法
本發明公開了一種摻雜硅量子點發光二極管，包括硅襯底，沉 積銀納米顆粒層，以及在銀納米顆粒結構上沉積多層分布均勻且包含 摻雜硅量子點的 SiNx 薄膜，透明導電薄膜 AZO 層以及 Si3N4 鈍化層。 還公開了該發光二極管的制備方法，利用摻雜硅量子點-SiNx 薄膜的電 致發光特性，構成發光二極管的發光有源層；利用摻雜可以鈍化量子 點，同時摻雜硅量子點與硅襯底形成的 p-n 結增強電子空穴的輻射復 合。此外，利用銀納
華中科技大學
2021-04-14