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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類(lèi) 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類(lèi)半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

該發(fā)明提供一種回旋行波管耦合輸入結(jié)構(gòu)，用于解決傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)插入損耗大的問(wèn)題，該結(jié)構(gòu)包括圓波導(dǎo)及垂直加載于圓波導(dǎo)的矩形波導(dǎo)，所述圓波導(dǎo)的電子注輸入段設(shè)置有一個(gè)以上矩形凹槽，所述矩形凹槽位于耦合輸入結(jié)構(gòu)的對(duì)稱面上。與矩形波導(dǎo)的截面中心距離為（1/2+n)λ、n為正整數(shù)，其中λ為圓波導(dǎo)中心頻點(diǎn)TE11模的波長(zhǎng)；所述矩形凹槽的長(zhǎng)、寬由對(duì)應(yīng)的工作頻段與耦合量決定，深度為1/8λ´-3/8λ´、其中λ´為矩形凹槽對(duì)應(yīng)尺寸的矩形波導(dǎo)的TE10模的波長(zhǎng)。該發(fā)明有效減小輸入電池波的插入損耗，且通過(guò)增加矩形槽的數(shù)量和調(diào)節(jié)矩形槽的結(jié)構(gòu)參數(shù)，能夠工作于不同需要的寬頻帶范圍；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工方便。

產(chǎn)品服務(wù):項(xiàng)目主要是針對(duì)現(xiàn)有的二級(jí)三級(jí)城市地級(jí)市等城市的城市交通管廊檢測(cè)，目前我們已經(jīng)在談的是整個(gè)東莞市區(qū)的城市污水管廊和電力管廊，和東莞市水務(wù)集團(tuán)下屬的管廊管理公司簽訂了戰(zhàn)略合作，幫助他們對(duì)整個(gè)東莞市的污水管道進(jìn)行基礎(chǔ)檢測(cè)，信息編碼登記，污水處理，污泥和固廢燒制成石膏或者水泥。整體來(lái)說(shuō)每年的營(yíng)業(yè)收入在1.5億人民幣到2億人民幣。盈利模式包括：檢測(cè)，疏通，維護(hù)，修復(fù)，等。目前預(yù)計(jì)2020年11月份完成一公里左右的檢測(cè)和修復(fù)，同時(shí)完成10個(gè)智能井蓋的更換和檢測(cè)。針對(duì)此項(xiàng)目的發(fā)展規(guī)劃是依托同濟(jì)大學(xué)電子信息與工程學(xué)院的技術(shù)支持，社會(huì)上尋求施工團(tuán)隊(duì)和資質(zhì)擁有方合作，每年持續(xù)的接?xùn)|莞的項(xiàng)目和整個(gè)東莞市智慧管廊的信息化建設(shè)。  商業(yè)模式:盈利模式包括：檢測(cè)，疏通，維護(hù)，修復(fù)，等。

本發(fā)明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進(jìn)裝置、檢測(cè)裝置與射流除垢裝置，所述推進(jìn)裝置的主體為推進(jìn)腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測(cè)裝置包括流體腔和由無(wú)損檢測(cè)探頭、位移傳感器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器組成的檢測(cè)模塊構(gòu)成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發(fā)明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時(shí)可進(jìn)行除垢效果檢測(cè)和管壁缺陷檢測(cè)，使得管道清洗作業(yè)與檢測(cè)作業(yè)合二為一，作業(yè)效率高。

本實(shí)用新型專(zhuān)利屬于醫(yī)療器械技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種膽道灌注管，全長(zhǎng) 2 0 0 . 0～ 2 2 0 . 0 cm，包 括灌注管本體，沿著灌注管本體的一端到另一端分別設(shè)有灌注液接頭、流速顯示管、流速調(diào)控裝置、 防逆流裝置和側(cè)孔導(dǎo)管；所述灌注管本體的外徑為5 .8～6 .0mm，內(nèi)徑為5 .3～5 .5mm；比現(xiàn)有的灌注管 （2.8～3.2mm）內(nèi)徑大很多，可以提高灌注液流動(dòng)的速度；所述防逆流裝置為套接在灌注管本體上的柱狀 體，所述柱狀體的側(cè)面向內(nèi)凹陷，同時(shí)柱狀體的直徑大于側(cè)孔導(dǎo)管的直徑，從而有效地防止進(jìn)入膽囊的灌 注液逆流及膽汁外漏

此專(zhuān)利產(chǎn)品是對(duì)目前廣泛用于水處理工程的斜板（管）的改進(jìn)產(chǎn)品，不改變斜板（管） 的基本工作原理，通過(guò)安裝組合與工藝應(yīng)用條件的變化，實(shí)現(xiàn)以下特性： 1.將傳統(tǒng)斜板（管）的架空安裝改為落地安裝，難度降低； 2.清水從底部渠道引出，不再需要安裝造價(jià)較高的集水槽； 3.出水面由水平面改為垂直面，不再積泥，不需要經(jīng)常沖洗； 4.清水被封閉在底部，不見(jiàn)陽(yáng)光，沉淀池不再滋生藻類(lèi)； 5.充分利用池深，增加斜板（管）的安裝數(shù)量，產(chǎn)能提高； 6.成組安裝，不再封閉池面，改管道排泥為機(jī)械排泥，不積泥。 

本發(fā)明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進(jìn)裝置、檢測(cè)裝置與射流除垢裝置，所述推進(jìn)裝置的主體為推進(jìn)腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測(cè)裝置包括流體腔和由無(wú)損檢測(cè)探頭、位移傳感器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器組成的檢測(cè)模塊構(gòu)成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發(fā)明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時(shí)可進(jìn)行除垢效果檢測(cè)和管壁缺陷檢測(cè)，使得管道清洗作業(yè)與檢測(cè)作業(yè)合二為一，作業(yè)效率高。

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種柔性管疲勞試驗(yàn)機(jī)，包括支撐框架、拉伸油缸和擺動(dòng)組件，所述拉伸油缸和所述擺動(dòng)組件相對(duì)布置并設(shè)置在所述支撐框架的對(duì)應(yīng)端部上，所述擺動(dòng)組件包括擺動(dòng)支架和驅(qū)動(dòng)油缸，所述擺動(dòng)支架鉸接在所述支撐框架的端部上，所述驅(qū)動(dòng)油缸鉸接在所述支撐框架和所述擺動(dòng)支架之間；所述拉伸油缸和所述擺動(dòng)支架上分別設(shè)置有用于固定柔性管端部的連接器。通過(guò)增加擺動(dòng)組件，擺動(dòng)組件能夠由驅(qū)動(dòng)油缸驅(qū)動(dòng)擺動(dòng)支架相對(duì)應(yīng)支撐框架擺動(dòng)，這樣，柔性管可以進(jìn)行加載彎曲負(fù)荷的疲勞測(cè)試，配合拉伸油缸進(jìn)行拉伸載荷的疲勞實(shí)驗(yàn)，可以更加全面的對(duì)柔性管進(jìn)行疲勞檢測(cè)，提高柔性管疲勞試驗(yàn)機(jī)的檢測(cè)精度和檢測(cè)可靠性。

成果簡(jiǎn)介：針對(duì)目前數(shù)控彎管機(jī)一般不配有仿真系統(tǒng)的狀況，本仿真系統(tǒng)通過(guò)建立數(shù)控彎管機(jī)的總體仿真模型和運(yùn)動(dòng)模型，實(shí)現(xiàn)彎管加工過(guò)程的三維仿真動(dòng)畫(huà)顯示；提供機(jī)床庫(kù)或機(jī)床各獨(dú)立部件庫(kù)，根據(jù)需要可從機(jī)床庫(kù)或部件庫(kù)中調(diào)入相關(guān)部件裝配成所需要的彎管機(jī)床，實(shí)現(xiàn)模胎夾具的自動(dòng)裝配。可自定義仿真加工環(huán)境，包括彎管機(jī)床、地面、相鄰的機(jī)床、車(chē)間中的其它加工設(shè)備、廠房以及特殊情況下的為導(dǎo)管彎曲設(shè)置的地面溝槽，進(jìn)行導(dǎo)管與加工環(huán)境的碰撞干涉檢測(cè)，建立了系列數(shù)控彎管機(jī)的機(jī)床庫(kù)和模胎庫(kù)以及導(dǎo)管樣件庫(kù)和相關(guān)的NC代碼庫(kù)。