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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

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???????? 本儀表用于測(cè)量各種電機(jī)、電覽、變壓器、電訊元器件、家用電器和其它電氣設(shè)備的絕緣電阻。 技術(shù)性能:? 1、額定電壓: 220V ;? 2、測(cè)量范圍: 0-500MΩ ;? 3、準(zhǔn)確度等級(jí): ±10% ;? 4、使用條件: 溫度-25～+40℃, 相對(duì)濕度不大于80%; ?5、搖柄額定轉(zhuǎn)速:120f/min ;?? 6、外磁場影響: 當(dāng)外界磁場強(qiáng)度為0.4KA/m時(shí), 儀表允許改變量為等級(jí)指數(shù)的100%;? 7、傾斜影響: 當(dāng)儀表自水平位置向傾斜5度時(shí)，儀表允許改變量為等級(jí)指數(shù)的50%;?? 8、絕緣電阻: 儀表所有線路與外殼之間的絕緣電阻應(yīng)不小于2 MΩ;??? 9、試電壓: 儀表能耐受頻率為50Hz的正弦波交流電壓歷時(shí)1min試驗(yàn)，電壓有效值為1000V;?? ????????????????10、刻度弧長: 約65mm ; 11、外型尺寸:205 mm×120 mm×14 mm ;?? ???12、重量: 2Kg ;?? ?????13、標(biāo)準(zhǔn)代號(hào): JB/T9290-1999。

“一種海藻酸鹽纖維的真空冷凍干燥方法”將真空冷凍干燥技術(shù)應(yīng)用于海藻酸鹽纖維（海藻纖維）生產(chǎn)過程中的脫水干燥，這種方法和技術(shù)可以提高海藻纖維特別是生物醫(yī)用海藻纖維的柔順性、蓬松性、吸水性。本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有海藻纖維生產(chǎn)技術(shù)，可以減少危險(xiǎn)性有機(jī)化學(xué)品的應(yīng)用，技術(shù)工藝簡單、易控，過程安全高效、穩(wěn)定可靠。發(fā)明技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中，綠色環(huán)保、社會(huì)效益顯著。