基于雙層透鏡結(jié)構(gòu)的風(fēng)速傳感器
本發(fā)明公開了基于雙層透鏡結(jié)構(gòu)的風(fēng)速傳感器,涉及MEMS器件,屬于測量測試的技術(shù)領(lǐng)域。該風(fēng)速傳感器為柔性透鏡和硅基上的固定透鏡組成的雙層透鏡結(jié)構(gòu),柔性透鏡與硅基上固定透鏡之間留有足夠空氣腔,當(dāng)有風(fēng)流過時,根據(jù)伯努利效應(yīng),柔性透鏡向固定透鏡移動,自柔性透鏡上方垂直照射寬波長光波,可根據(jù)反射波的波長測量風(fēng)速大小。本發(fā)明依據(jù)伯努利效應(yīng)及光學(xué)效應(yīng)實現(xiàn)了非侵入式測量,無需引線,同時也降低了傳感器的功率。
東南大學(xué)
2021-04-13