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一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)
一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)，其特征在于：氣體瓶一（1a）和氣體瓶二（1b）分別通過流量計一（3a）、流量計二（3b）與混合氣管（4）的進氣口相連，混合氣管（4）的出氣口通過進氣腔（6）與原子力顯微鏡上的氣氛腔（7）的進氣口相連。該系統(tǒng)能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛，從而使原子力顯微鏡能進行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機電系統(tǒng)的磨損失效、防護機理的模擬試驗與研究，從而為相應(yīng)混合氣氛工作中的微機電系統(tǒng)的設(shè)計、制造與維護提供更準確、可靠的試驗依據(jù)，以降低微機電系統(tǒng)的磨損，提高微機電系統(tǒng)的使用壽命。
西南交通大學(xué)
2016-10-25
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基于變結(jié)構(gòu)的高壓直流輸電多通道附加阻尼控制方法
本發(fā)明公開了一種基于變結(jié)構(gòu)的高壓直流輸電多通道附加阻尼控制方法。其特點在于通過具有高運算效率和抗擾能力的TLS-ESPRIT算法辨識出次同步和低頻振蕩頻率、阻尼，以及系統(tǒng)降階模型，結(jié)合變結(jié)構(gòu)控制原理，設(shè)計含虛擬狀態(tài)變量的附加控制器，最后引入狀態(tài)觀測器，消除虛擬狀態(tài)變量，實現(xiàn)輸出反饋形式的HVDC變結(jié)構(gòu)控制器，然后采用變結(jié)構(gòu)控制理論設(shè)計多通道直流附加阻尼控制器，降低振蕩模式間的相互影響，能夠同時抑制次同步和低頻振蕩。該方法高效易行，而且變結(jié)構(gòu)控制理論對于實際電網(wǎng)的復(fù)雜多變工況具有較強的抗擾性，同時該控制器利用多通道結(jié)構(gòu)，解決了多控制器間的協(xié)調(diào)控制問題，提出了一套具有很強操作性的實際大電網(wǎng)的控制器設(shè)計方法。
四川大學(xué)
2016-10-25
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一種網(wǎng)絡(luò)化多電機同步控制系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開了一種網(wǎng)絡(luò)化多電機同步控制系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括基于 SOPC 的多軸同步控制模塊、PLC 控制器、上位機、人機界面、現(xiàn)場 IO 設(shè)備、脈沖采集模塊和伺服電機驅(qū)動模塊；通過脈沖采集模塊采集主令電機編碼器輸出的編碼脈沖信號經(jīng)過磁耦隔離處理后發(fā)送到多軸同步控制模塊，多軸同步控制模塊對接收到的脈沖信號進行周期性的計數(shù)采樣，同時也接收來自上位機和人機界面?zhèn)鱽淼目刂泼睿罱K將控制命令轉(zhuǎn)化為 PWM 控制信號，經(jīng)過伺
華中科技大學(xué)
2021-04-14
精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的初級調(diào)控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的次級調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進入次級熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實現(xiàn)對浸液溫度的兩級調(diào)控，從而獲得溫
華中科技大學(xué)
2021-04-14
液壓絞車柔性牽引的水下運動體的速度控制方法及系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種基于液壓絞車牽引的水下運動體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開度的設(shè)定值；(2)速度控制器獲取當(dāng)前的閥芯開度反饋值，并計算閥芯開度比；(3)若閥芯開度比不大于閾值，則以單調(diào)過阻尼的方式逐漸增大閥芯開度給定值值至閥芯開度設(shè)定值，若閥芯開度比大于閾值，則根據(jù)速度設(shè)定值與反饋速度值的差值以及閥芯開度反饋值,實時給定閥芯開度給定值；(4)液壓絞車根據(jù)主閥閥芯的開度牽引柔性水下運動體以對應(yīng)速度運動；(5)循環(huán)執(zhí)行步驟(2)-(4)，直至小車速度達到設(shè)定值。本發(fā)明還公開了對應(yīng)的控制系統(tǒng)。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種適用于芯片轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法
本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機和小轉(zhuǎn)盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法
本發(fā)明公開了一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機器人勻速直線前進，測量其同一驅(qū)動組中兩 行星輪組與前方臺階的距離及行星輪組的轉(zhuǎn)速，并計算偏轉(zhuǎn)角;2)計算各行星輪組的理論轉(zhuǎn)速，并使行星輪組以計算得出的轉(zhuǎn)速進行運動; 3)檢測當(dāng)前的 L1 和 L2，并計算當(dāng)前的偏轉(zhuǎn)角θ;4)判斷當(dāng)前偏轉(zhuǎn)角θ 是否超過預(yù)設(shè)值:若是，則轉(zhuǎn)入步驟 2)，若否，則控制機器人繼續(xù)等 速直線前進;5)判斷兩行星輪組是否到達階梯:若否，則繼續(xù)等速直 線
華中科技大學(xué)
2021-04-14
六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)
本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡介
傳統(tǒng)的工業(yè)機器人控制和驅(qū)動分離，即采用一個獨立運動控制器控制多個獨立伺服驅(qū)動器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問題。本成果開發(fā)的六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)由工業(yè)機器人控制軟件和伺服驅(qū)動系統(tǒng)組成，主要特點有：
（1）基于多核的SoC芯片，通過片內(nèi)總線實現(xiàn)控制系統(tǒng)和驅(qū)動系統(tǒng)的高速互聯(lián)通信，保證信息傳輸?shù)母咝院头€(wěn)定性。機器人控制算法和六軸驅(qū)動系統(tǒng)共用一個芯片中不同的內(nèi)核完成，實現(xiàn)高度集成。
（2）針對傳統(tǒng)機器人六軸無法高精度同步問題，本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
華中科技大學(xué)
2022-07-27
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江蘇地區(qū)煙粉虱的暴發(fā)成災(zāi)機制及可持續(xù)控制技術(shù)
該成果從煙粉虱的越冬、田間擴散、暴發(fā)機制、田間種群動態(tài)等方面研究江蘇地區(qū)煙粉虱種群的形成規(guī)律及成災(zāi)機制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術(shù)。研究成果在江蘇推廣應(yīng)用，可使化學(xué)農(nóng)藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益， 2012 年獲全國商業(yè)科技進步獎二等獎。
揚州大學(xué)
2021-04-14
基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片
本發(fā)明公開了一種基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片。其包括電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列；電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列包括液晶材料層，依次設(shè)置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向?qū)?、第一電隔離層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設(shè)置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向?qū)?、第二電隔離層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；公共電極層由一層勻質(zhì)導(dǎo)電膜構(gòu)成；圖形化電極層由其上布有 m×n
華中科技大學(xué)
2021-04-14