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項目成果/簡介:隨著支配半導體技術數十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發(fā)的，該技術通過在更大范圍內優(yōu)選結構/功能材料組合，開發(fā)異質集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設計和制造的騰挪空間。經過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質異構制造技術體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關鍵作用，初步展現了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發(fā)明一等獎。微系統集成發(fā)展趨勢多元兼容集成制造技術 獲獎情況上海市技術發(fā)明一等獎2016年團隊獲獎國家技術發(fā)明二等獎2008年上海市技術發(fā)明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學團隊在長期研究經驗和技術積累基礎上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導率材料組合構造的復合結構微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當的超薄散熱器冷卻能力達到800W/cm2以上，在保留傳統微通道散熱器良好系統兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發(fā)動機燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數現場監(jiān)測對傳感器技術是嚴峻挑戰(zhàn)，國內外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調控、曲面圖形化和高溫敏感介質等技術上取得了一定突破，成功開發(fā)了多種可與現場結構共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點，該團隊已經掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結構高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術薄膜溫度傳感器在發(fā)動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統高性能轉接板基于轉接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統的硅轉接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉接板。此外，還開發(fā)了復合材料非硅轉接板，TCV陶瓷轉接板，TGV玻璃轉接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發(fā)不同功能的專用轉接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉接板實物圖片知識產權類型:發(fā)明專利 、 軟件著作權 、 集成電路布圖設計技術先進程度:達到國內領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

目前，從美國能源信息署的數據可以看出，到2025年，全球的石油年需求量將達到136.5億噸。然而，世界范圍內易開采、低成本的石油資源越來越少，難開采、高成本的石油資源越來越多，因此需要目前主要可以通過開發(fā)一些新的技術來解決這一矛盾，水力壓裂就是一種新型高效的開采技術，它是石油、天然氣低滲透油氣井開采增產的重要新技術，水力壓裂一般應用到水平井中。在水力壓裂過程的中，支撐劑是其中的關鍵材料。本項目采用軟化學漿液閥制備超低密度微球支撐劑，廣泛應用于各種油氣井中。

本發(fā)明提供一種識別微絲菌用熒光探針的制備方法，該方法先采用鹵代長碳鏈化合物對咔唑吡啶苯乙烯類菁染料的4-甲基吡啶部分進行修飾，而后再與3-甲酰基-N-乙基咔唑反應合成具有長疏水鏈的熒光探針。本發(fā)明效果為，該探針制備過程中將咔唑吡啶苯乙烯類菁染料的制備和修飾同步化，制備方法簡單，制得的熒光探針背景干擾小，熒光強度高，熒光性質穩(wěn)定。利用微絲菌具有疏水表面這一特性，本申請中所制備的具有長疏水鏈的熒光探針可與其結合，從而達到熒光識別微絲菌的目的。

本發(fā)明涉及一種空心陶瓷微球及其制備方法。本發(fā)明屬于陶瓷微球技術領域。一種空心陶瓷微球，為中空結構陶瓷球，空心陶瓷球為TiO2包覆SiC的核殼結構。空心陶瓷微球的制備方法，包括步驟：1.制備實心微球：(1)制作聚苯乙烯微球；(2)進行磺化；(3)包覆一層陶瓷先驅體；2.陶瓷先驅體包覆的聚苯乙烯實心微球表面包覆二氧化鈦:（1）將微球分散于乙醇和酞酸丁酯的混合溶液中；（2）將酸和去離子水加入到混合溶液中；(3)進行水熱處理得到陶瓷先驅體包覆的聚苯乙烯實心微球；3.制備空心陶瓷微球:將表面包括覆有TiO2的陶瓷先驅體包覆的聚苯乙烯實心微球放在真空爐中燒結，獲得空心陶瓷微球。本發(fā)明具有產品活性高，性能優(yōu)異，隔熱效果好，適用范圍廣等優(yōu)點。

高性能的相干光源是基礎光物理研究和集成光子學應用的關鍵前提之一。近年來，具有超高品質因子的回音壁模式光學微腔已經成為研究各種新型高效光源的重要平臺，實驗上已經獲得了包括宇稱-時間反演對稱激光、軌道角動量激光和微腔光學頻率梳等。然而，回音壁微腔模式存在的固有手征對稱性導致腔中激光場通常是等強度相向傳輸的，嚴重阻礙了諸多光子學器件應用的發(fā)展，例如單向光發(fā)射、全光寄存器和非互易光傳輸等。迄今，要獲得具有單向性的回音壁微腔手征激光，通常需要直接打破光學諧振腔的幾何手征對稱性。這種方法得到的激光方向性是固定的，難以動態(tài)調控其出射性質，且對諧振腔的形狀設計和工藝制備要求較高。

本項目將研究CVD金剛石厚膜的制備技術，導絲模的超聲微納加工技術，最終制作出合格的CVD金剛石導絲模，內孔尺寸公差<0.1微米，內孔和外圓的同心度要求小于5mm，內孔表面粗糙度Ra<0.01mm，達到國際先進水平。 本項目涉及金剛石厚膜的制備到CVD金剛石導絲模的關鍵工藝，項目成功后，將研發(fā)成功具有我國自主知識產權的金剛石導絲模，對我國模具產業(yè)和精密加工技術的發(fā)展具有重要的推動作用。   應用范圍： 該產品應用于電火花線切割機床上使用，可以保證電火花線切割的質量和工件的加工精度。  

近年來，鋰離子電池在智能電網、航空航天和軍事儲能等高能耗新能源領域的應用不斷擴展，現有商用正極材料體系（包括層狀結構的鎳鈷錳酸鋰、尖晶石結構的錳酸鋰和橄欖石結構的磷酸鐵鋰）的實際比容量已經接近各自的理論極限值，無法滿足日益增長的能量密度需求。富鋰錳基正極材料不僅具有高的比容量（250 mA h/g）和能量密度（1000 Wh/kg），而且其較低的鈷和鎳含量能夠有效降低電池的成本。本項目主要通過構筑缺陷來增強富鋰錳基正極材料的電化學性能，實現高的首圈庫倫效率、倍率性

本實用新型公開了一種可調節(jié)夾持力度的可彎曲微創(chuàng)器械，包括依次連接的操作部、撓性延伸部及控制部，操作部包括操作頭及傳動裝置，操作頭包括第一操作件和第二操作件，傳動裝置包括基座、導向槽、齒條、彈性復位件、第一齒輪、第二齒輪、第一轉動桿、第一導向桿、第一連桿、第二轉動桿、第二導向桿以及第二連桿，撓性延伸部包括形成于中心的貫穿通道以及穿設于貫穿通道內的傳動索，傳動索的前端固定于齒條的后端壁，傳動索的后端與控制部相連，使得當齒條在傳動索的作用下于導向槽往復運動時，第一操作件和第二操作件相對于彼此進行開合運動。

微地震監(jiān)測系統是通過監(jiān)測巖體破裂產生的震動或其他物體的震動，對監(jiān)測對象的破壞狀況、安全狀況等作出評價，從而為預報和控制災害提供依據的成套設備和技術。該監(jiān)測系統可廣泛應用于礦山巖體破裂的定位監(jiān)測，是預測預報頂板垮落、礦井突水、煤與瓦斯突出、沖擊地壓等的有效工具，也可根據監(jiān)測到的巖體破裂的范圍和破裂程度，確定導水裂隙帶高度、開采上限和巷道的合理位置等重要參數。微地震監(jiān)測系統也可應用于建筑物安全監(jiān)控、大壩和邊坡穩(wěn)定性監(jiān)測、核廢料儲存峒室穩(wěn)定性監(jiān)測、隧道穩(wěn)定性監(jiān)測以及石油、軍事等領域。研制的適合地面和地下使用的微地震監(jiān)測系統已經在山東的兩個煤礦應用，監(jiān)測到了采場周圍巖體的破裂過程和范圍，確定了高應力的范圍，找到了解放層的解放區(qū)域和參數，為合理布置工作面、控制沖擊地壓提供了重要參數，解決了煤礦多年來探索的難題。測出了工作面周圍巖體三維破裂參數，正確確定了導水裂隙帶高度，為提高開采上限提供了科學依據。監(jiān)測系統和相關技術總體達到了國際先進水平，部分技術達到了國際領先水平。

微流控芯片是空間生物實驗與生命信息探測的最新技術。“微流控芯片” 被美國宇航局譽為空間生物學實驗的“終結者”。微流控芯片是當前微全分析系統發(fā)展的熱點領域。結合空間生命特征分子的特點，發(fā)展高集成度芯片和芯片檢測技術將是一項成本低、信息量高、簡便易行的創(chuàng)新技術。此技術的研究和應用將為我國空間生命科學研究提供先進的技術手段。