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本發(fā)明公開了一種用于捕獲循環(huán)腫瘤細胞的微流道結(jié)構(gòu)及其制造方法，該方法包括：（1）在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜；（2）基于光刻膠掩膜，使用感應耦合等離子體反應刻蝕技術(shù) ICP在單晶硅片上刻蝕出微米級別的凹槽及槽內(nèi)均勻分布的硅微米柱陣列；（3）在微米柱表面制備納米線陣列；（4）對凹槽進行封裝。按照本發(fā)明，可以獲得一種用于循環(huán)腫瘤細胞檢測的微納復合微流道結(jié)構(gòu)，這種檢測結(jié)構(gòu)具有靈敏度高、效率高等特點。

TDA（芯片熱設計自動化）軟件是清華航院曹炳陽教授團隊全自主研發(fā)的國際首個芯片跨尺度熱仿真與設計系統(tǒng)。TDA軟件可實現(xiàn)芯片從納米至宏觀尺寸的熱設計與仿真，支持芯片微納結(jié)構(gòu)內(nèi)部熱輸運過程的模擬研究，直接提高芯片熱仿真精度與結(jié)溫預測準確度，進而提高芯片性能、壽命和可靠性。

本發(fā)明公開了一種基于納米石墨烯電極的電控液晶光發(fā)散微透鏡陣列芯片，包括驅(qū)控信號輸入端口、以及石墨烯液晶散光微透鏡陣列，石墨烯液晶散光微透鏡陣列為 m×n 元，石墨烯液晶散光微透鏡陣列采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且下上層之間順次設置有第一基片、圖案化石墨烯電極、第一液晶定向?qū)?、液晶層、第二液晶定向?qū)印⑹╇姌O、第二基片，圖案化石墨烯電極和石墨烯電極分別制作在第一基片和第二基片上，圖案化石墨烯電極是由 m×n 個以微圓環(huán)隔離并以

本發(fā)明公開了一種石墨烯基雙模混合集成電控液晶微透鏡陣列，包括陣列化控光架構(gòu)、第一驅(qū)控信號輸入端口和第二驅(qū)控信號輸入端口，陣列化控光架構(gòu)的上下層之間順次設置有第一基片、微圓孔形圖案化石墨烯電極、第一液晶定向?qū)?、第一液晶層、第二液晶定向?qū)印⑹┕驳仉姌O、第二基片、第三液晶定向?qū)?、第二液晶層、第四液晶定向?qū)印⑽A環(huán)孔形圖案化石墨烯電極、第三基片，微圓孔形圖案化石墨烯電極、石墨烯共地電極和微圓環(huán)孔形圖案化石墨烯電極分別

與高速飛行的飛機不同，微小型無人機體積小，重量輕，飛行速度低，更容易受到環(huán)境湍流的影響，需要高靈敏度的小型氣流傳感器提供全面的空氣動力學信息。如何讓微小型無人機像鳥類一樣感知和操縱氣流一直是航空和傳感器領(lǐng)域的難題。 面向微小型無人機的飛行參數(shù)測量，北航研發(fā)團隊研制出一種基于氧化釩的高靈敏度柔性流速傳感器，實現(xiàn)了0.11 mm/s和0.1°的超高流速和角度分辨力，實驗驗證了攻角、側(cè)滑角和空速的多參數(shù)感知能力，并完成了微小型無人機飛行速度以及機翼微振動的測量，為微小型無人機提供了低成本、高精度的大氣參數(shù)傳感方案。 該傳感器基于量熱式原理，由中心微加熱器產(chǎn)生恒定溫差，四周的熱敏電阻陣列測量溫度分布，根據(jù)熱敏電阻陣列測得的溫度差準確反映流速大小及方向。采用懸空型隔熱結(jié)構(gòu)以及高電阻溫度系數(shù)材料氧化釩作為熱敏電阻以增大傳感器的測量靈敏度。在聚酰亞胺基底上通過MEMS工藝加工了總厚度90μm的超薄柔性流速傳感器，實現(xiàn)了微小型無人機的曲面貼附功能。經(jīng)風洞測試，流速傳感器的理論分辨力達0.11 mm/s,流速測量重復精度約為測量值的0.5%，響應時間約為20ms。在10 m/s時，流速傳感器的最大角度靈敏度為36.7 mV/deg，噪音水平為1.78 mV，根據(jù)2σ準則計算出其理論角度分辨力為0.1°。 研究團隊已經(jīng)完成流速傳感器工程化樣品的制備，并將兩個流速傳感器裝載到一個微小型無人機平臺上進行飛行參數(shù)感知應用。結(jié)果表明平均飛行速度的估計誤差低于0.2 m/s。由于流速傳感器的高靈敏度特性，它甚至捕捉到了機翼的微振動信息，并與外置IMU模塊顯示了相同的機翼振動頻率。這項研究展示了一種柔性高靈敏度流速傳感器，拓寬了流場感知在微小型無人機姿態(tài)檢測、空速估計以及飛行安全監(jiān)測方面的應用，為無人機的飛行參數(shù)測量提供了創(chuàng)新的設計思路與發(fā)展前景。

本發(fā)明公開了一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，包括雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡和驅(qū)控信號輸入端口，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡為 m×n 元，其中，m、n 均為大于 1的整數(shù)，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設置有第一基片、第一平板電極層、第一電隔離層、圖案化電極層、第二電隔離層、第一液晶定向?qū)印⒁壕?、第二液晶定向?qū)?、第三電隔離層、第二平板電極層、第二基片，第一平板

本實用新型提供了一種具有翻轉(zhuǎn)芯片功能的芯片吸取裝置，包括 Z 向高度調(diào)節(jié)與支撐機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)、芯片吸取機構(gòu)，Z 向高度調(diào)節(jié)與支撐機構(gòu)將芯片吸取機構(gòu)移動到適宜高度，翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動芯片吸取機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，芯片吸取機構(gòu)包括直線導向運動部件和芯片吸取元件，直線導向運動部件內(nèi)設有直線軸承和彈簧，直線導向軸從上往下穿過直線軸承和彈簧，其端部連接芯片吸取元件，由于彈簧的緩沖作用，芯片吸取元件將芯片吸住后跟隨芯片上升一定的高度，再在翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的作用下旋轉(zhuǎn)到達芯片供給位置。本實用新型一方面避免了非接觸式吸取的不可靠

1. 痛點問題 化學工業(yè)是我國國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，集中于生產(chǎn)基礎和大宗化工原料，而面向高端制造業(yè)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品，其比重不足10%?；ぎa(chǎn)業(yè)正受到國外技術(shù)壁壘和國內(nèi)消費結(jié)構(gòu)升級及生態(tài)環(huán)境保護要求提高的多重壓力，需要加快轉(zhuǎn)型升級，邁向高端化和綠色化。 針對傳統(tǒng)醫(yī)藥中間體、精細化工生產(chǎn)設備技術(shù)革新的研究方向，微反應器和微流控技術(shù)的研究和應用成為國內(nèi)外研究機構(gòu)的研究熱點。微反應器和微流控技術(shù)自上世紀九十年代提出，就受到學術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的廣泛關(guān)注。微反應連續(xù)化生產(chǎn)技術(shù)是一項在新世紀中具有革命性的技術(shù)，是生物、化學、化工等交叉前沿的方向；2009年，25家國際著名跨國公司和研究機構(gòu)將微化工技術(shù)列入化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展新方向，聯(lián)合啟動了構(gòu)建所謂靈活、快速、未來化工廠的“F3計劃”。醫(yī)藥中間體、精細化工產(chǎn)品由于產(chǎn)量小，目前普遍采用傳統(tǒng)的反應釜等設備，單批次生產(chǎn)，存在原料利用率低、污染排放量大,生產(chǎn)過程安全性較差，難以適應可持續(xù)發(fā)展的需要。解決醫(yī)藥中間體、精細化工生產(chǎn)的環(huán)保、安全、效率等問題，是目前廣大中小型生產(chǎn)企業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展的關(guān)鍵。 2. 解決方案 微反應器/微流控技術(shù)：以微結(jié)構(gòu)元件為核心，在微米或亞毫米受限空間內(nèi)進行的流動、傳遞和反應過程，它通過減小體系的分散尺度強化混合、分散與傳遞，提高過程可控性和效率，以“數(shù)量放大”為基本準則，將實驗室成果可靠地運用于工業(yè)過程，實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。 目前，微反應器/微流控技術(shù)已經(jīng)從研究階段向工業(yè)化生產(chǎn)階段發(fā)展，相關(guān)技術(shù)及產(chǎn)品的應用正處于快速增長的階段，在生物醫(yī)藥、化妝品、環(huán)保等領(lǐng)域，都有著廣泛的應用需求。采用微反應器成套技術(shù)，在實現(xiàn)化學品生產(chǎn)的連續(xù)化同時，具有低能耗，高效率，低排放，高安全性等一系列優(yōu)勢。 1) 本項成果基于微化工技術(shù)，結(jié)合先進的生產(chǎn)裝備自動化技術(shù)，提供面向生物醫(yī)藥制造領(lǐng)域的綠色高效的微流控技術(shù)生產(chǎn)方案。 2) 同時，結(jié)合先進智能制造技術(shù)，可以構(gòu)建全自動的集成化工藝平臺，實現(xiàn)智能化、綠色化的生產(chǎn)工藝及裝備的整體應用。

該項目是在國家自然科學基金委的大力支持下，由西安交通大學吳裕遠教授主持的課題組經(jīng)過15年的艱苦努力，突破傳統(tǒng)機理，銳意科技創(chuàng)新，所取得的最新成果，榮獲2001年國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎。該項目是西安交通大學，擁有完全的自主知識產(chǎn)權(quán),非常適宜在制氧、石油、化工、乙烯等換熱器領(lǐng)域推廣應用。