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本發(fā)明公開了一種用于芯片倒裝的多自由度鍵合頭，包括安裝立板、對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和調(diào)平機(jī)構(gòu)，其中對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括縱向設(shè)置在安裝立板上部的 Z 向模組和橫向設(shè)置在 Z 向模組上的支架，并在 Z 向電機(jī)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的配合驅(qū)動下實(shí)現(xiàn)鍵合頭相對于 Z 軸方向的對準(zhǔn)運(yùn)動；調(diào)平機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在支架下側(cè)的上平臺、帶有吸嘴的下平臺和設(shè)置在上下平臺之間的三個支鏈結(jié)構(gòu)，其中調(diào)平中心鏈的兩端分別通過轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連，分布在中心鏈兩側(cè)的兩個調(diào)平側(cè)鏈各自配備有作為調(diào)節(jié)動力輸入的移動副，且其上下端分布通過多個轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連。通過本發(fā)

本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和晶元盤 斜視相機(jī)的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機(jī)的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度

長期從事巖體強(qiáng)度理論及地下結(jié)構(gòu)全壽命設(shè)計(jì)方法、地下空間防災(zāi)安全和智慧地下基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的研究，同濟(jì)大學(xué)土木工程學(xué)院朱合華教授是國際上較早開展數(shù)字地下空間與工程（DUSE）研究的學(xué)者之一。經(jīng)過近20年的努力，朱合華團(tuán)隊(duì)成員齊心協(xié)力構(gòu)建起數(shù)字地下空間的理論體系、工程方法和數(shù)據(jù)庫，初步完成了數(shù)字化地下體系建設(shè)，構(gòu)建出“工程數(shù)字化”創(chuàng)新技術(shù)核心，已經(jīng)在城市軌道交通、高速公路等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。朱合華被國際同行認(rèn)為是“城市基礎(chǔ)設(shè)施規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工和維護(hù)信息集成方法的國際開拓者之一。  2021年中國工程院新增院士中，同濟(jì)大學(xué)土木工程學(xué)院朱合華教授當(dāng)選。 誤打誤撞與數(shù)字化結(jié)緣 　　1979年，朱合華進(jìn)入重慶大學(xué)化學(xué)礦開采專業(yè)學(xué)習(xí)，開始接觸計(jì)算機(jī)編程語言。1983年9月成為重大碩士研究生后，他開始深入與計(jì)算機(jī)應(yīng)用打交道，師從李通林教授，完成了“圍巖不連續(xù)面非線性效應(yīng)對巷道穩(wěn)定性影響分析”的碩士論文。 　　1986年9月，朱合華考入同濟(jì)大學(xué)，師從孫鈞、楊林德2位恩師攻讀結(jié)構(gòu)工程專業(yè)（地下結(jié)構(gòu)方向）博士，論文題目為《隧道掘進(jìn)面時空效應(yīng)研究——邊界元法若干理論與工程應(yīng)用》。 　　從此，在朱合華的學(xué)術(shù)世界中，計(jì)算機(jī)技術(shù)、土木工程就成了形影不離的“伙伴”，他開辟了數(shù)字化的研究方向。 　　1993年7月，朱合華到日本大阪土質(zhì)試驗(yàn)所和京都大學(xué)從事軟土地下工程研究，進(jìn)一步運(yùn)用有限元數(shù)值方法進(jìn)行軟土盾構(gòu)隧道管片襯砌分析、地下工程施工動態(tài)反演等。 　　上世紀(jì)90年代初，日本快速發(fā)展的地下基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，為他的研究工作提供了大量的室內(nèi)和現(xiàn)場試驗(yàn)的工程數(shù)據(jù)。 　　至今，朱合華還記得這樣的場景：工作單位長期聘請的幾位工作人員，持續(xù)將大阪灣的三維地質(zhì)數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)中，形成了大阪灣的地質(zhì)、地震數(shù)據(jù)庫信息系統(tǒng)，該信息系統(tǒng)在日本國內(nèi)具有重要的影響。 　　大阪土質(zhì)試驗(yàn)所所長巖崎先生告訴他：“巖土工程師一定要與地層交朋友！”這個叮囑也促成他歸國后迅即開展土木與信息學(xué)科交叉的研究。朱合華在日本期間創(chuàng)建的用于管片襯砌設(shè)計(jì)分析的梁-接頭（縫）不連續(xù)模型，后來也被納入了我國國家標(biāo)準(zhǔn)。 　　上世紀(jì)90年代末，朱合華在同濟(jì)附近的小書攤上發(fā)現(xiàn)了當(dāng)時的暢銷書——《數(shù)字化生存》，“數(shù)字”二字縈繞在他腦海，后來他又在《文匯報》上讀到了與“數(shù)字地球”概念有關(guān)的文章。當(dāng)《巖土工程界》期刊向他約稿時，朱合華撰寫了《從數(shù)字地球到數(shù)字地層——巖土工程發(fā)展新思維》一文，從此打開地下空間與工程數(shù)字化研究的大門。 推動數(shù)字化在工程中的應(yīng)用 　　1999年，朱合華牽頭的“城市三維地層信息管理系統(tǒng)的開發(fā)與應(yīng)用”獲批上海市教委曙光計(jì)劃，經(jīng)過3年的潛心研究，項(xiàng)目驗(yàn)收得到了專家們的高度評價，成為團(tuán)隊(duì)數(shù)字化研究工作布局的起點(diǎn)。朱合華團(tuán)隊(duì)的工作成為了2004年上海先后啟動的29個重大科技專項(xiàng)之—，也是城市地下空間信息平臺建設(shè)和國土資源部與上海市聯(lián)合資助的三維地質(zhì)調(diào)查項(xiàng)目。 　　廈門翔安海底隧道是中國內(nèi)地第一條海底隧道，全長8.695千米，跨海部分全長6.05千米，最大深度達(dá)到70米，相當(dāng)于18層樓高。隧道還要在四周一片漆黑無方向的地下施工，所經(jīng)之地地質(zhì)狀況極其復(fù)雜。朱合華團(tuán)隊(duì)的介入，使得這一高難度項(xiàng)目成為了我國跨海隧道的一項(xiàng)示范工程。 　　近年來，朱合華團(tuán)隊(duì)的研究領(lǐng)域遍布數(shù)字地下空間、數(shù)字化工程兩大園地，數(shù)字地下空間研究成果在上海世博地下空間、常州地下空間、延安新城地下基礎(chǔ)設(shè)施等得到應(yīng)用，數(shù)字化工程的研究成果在廣州龍頭山雙洞八車道公路隧道、淮南望峰崗煤礦、上海長江隧道、世博500kV地下變電站和電力隧道、上海地鐵一號線結(jié)構(gòu)維護(hù)、上海中心深基坑等項(xiàng)目建設(shè)得到應(yīng)用。 　　圍繞這些工程，團(tuán)隊(duì)相繼研究開發(fā)出“復(fù)合纖維和預(yù)應(yīng)力管片結(jié)構(gòu)技術(shù)”“盾構(gòu)地層適應(yīng)性理論和試驗(yàn)方法”“大斷面、高水壓、近間距下盾構(gòu)施工微擾動控制技術(shù)”等一系列方法與技術(shù)，解決了復(fù)雜環(huán)境下地下建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)分析、施工安全與控制的一個又一個難題，主持的項(xiàng)目“軟土盾構(gòu)隧道設(shè)計(jì)理論與施工控制技術(shù)及應(yīng)用”獲2008年國家科技進(jìn)步獎二等獎。 　　朱合華又針對大規(guī)模、集群化的地下空間的建造難題，組織國內(nèi)相關(guān)單位聯(lián)合攻關(guān)。他主持的項(xiàng)目“城市高密集區(qū)大規(guī)模地下空間建造關(guān)鍵技術(shù)及其集成示范”，2016年獲國家科技進(jìn)步獎二等獎。 　　數(shù)字化地下課題與工程的“比翼雙飛”，朱合華團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了基礎(chǔ)理論和前沿交叉研究的良性循環(huán)。他們提出了地下空間工程全壽命數(shù)據(jù)采集—表達(dá)—分析—服務(wù)的數(shù)字化范式，開辟了數(shù)字地下空間工程新方向，攻克了“建造動態(tài)精細(xì)調(diào)控、運(yùn)維快速精準(zhǔn)評價”難題，創(chuàng)建了地下三維動態(tài)信息表達(dá)與分析的理論方法；攻克了安全建造的動態(tài)精細(xì)調(diào)控技術(shù)，突破了高效運(yùn)維的快速精準(zhǔn)評價技術(shù)。研究成果成功應(yīng)用于上海長江通道、貴州高速公路網(wǎng)、上海地鐵網(wǎng)等重大工程。 　　2015年，朱合華因在數(shù)字地下空間與工程方面的成就獲得第44屆德國洪堡研究獎，他是中國土木工程界到目前為止的唯一獲獎?wù)摺?首創(chuàng)基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng) 　　朱合華團(tuán)隊(duì)經(jīng)過長期思考和一年多的充分討論，創(chuàng)建了基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng)iS3 （infrastructure Smart Service System， 2013），即基礎(chǔ)設(shè)施全壽命數(shù)據(jù)采集、處理、表達(dá)、分析的一體化智慧決策服務(wù)系統(tǒng)。該系統(tǒng)從廣義工程應(yīng)用場景出發(fā)，以信息流為主線，采用面向服務(wù)的組件式框架和微服務(wù)技術(shù)架構(gòu)的系統(tǒng)平臺，集先進(jìn)性、開放性和實(shí)用性為一體，是國際上第一個開源的基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng)。 　　因?yàn)檠芯砍煽兺怀?，朱合華的影響日漸擴(kuò)大。日本、新加坡、英國、美國、韓國等國都留下了他的“中國好聲音”；2010年，他在上海創(chuàng)辦了信息巖土工程技術(shù)國際學(xué)術(shù)會議，該會議現(xiàn)已成為國際信息巖土工程領(lǐng)域的重要系列會議；2017年值同濟(jì)110周年校慶之時，成立了中國智慧基礎(chǔ)設(shè)施聯(lián)盟暨全球研究中心，已吸引世界170多家單位參與。 　　在數(shù)字化轉(zhuǎn)型和智能建造的大潮中，如何借助現(xiàn)代信息技術(shù)手段，在人跡罕至的高山峻嶺地區(qū)修建地下交通基礎(chǔ)設(shè)施？朱合華提出開展巖體隧道動態(tài)設(shè)計(jì)的遠(yuǎn)程診斷分析，即將iS3平臺作為數(shù)字底座，實(shí)現(xiàn)了基于數(shù)字孿生技術(shù)的巖體隧道支護(hù)的三維動態(tài)設(shè)計(jì)技術(shù)。三維動態(tài)設(shè)計(jì)技術(shù)成功應(yīng)用于四川峨漢大峽谷隧道（最大埋深1940米，世界最深的公路隧道）施工中，僅用10分鐘完成了現(xiàn)場三維遠(yuǎn)程實(shí)時動態(tài)支護(hù)設(shè)計(jì)，這在國際上首次實(shí)現(xiàn)，是隧道動態(tài)設(shè)計(jì)的重大技術(shù)突破。 　　今天， “土木信息工程”已成為《中國大百科全書》第三版土木工程學(xué)科的分支之一，朱合華盼望著數(shù)字化轉(zhuǎn)型背景下的“土木信息工程”學(xué)科未來繼續(xù)能茁壯成長。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號：HD-I5506E 背光類型：LED ，顯示尺寸：55”顯示比例：16：9可視角度：178°物理解析度：1920*1080pixel圖像制式/聲音制式：PAL/DK,I音視頻輸入/輸出：    輸入：1個RF、1個USB播放接口+1個USB紅外接口、3個HDMI端口、1路YPbPr/YCbCr/音頻、1個VGA輸入+1個立體聲音頻輸入、1路AV復(fù)合、1路RS232端口    輸出：1路AV輸出、1路立體聲音頻多媒體功能：    視頻格式：MPEG1、MPEG2、MPEG4、H264、RM、RMVB、MOV、MJPEG、VC1、Divx、FLV(支持1080P高清解碼）    圖片格式：JPEG、BMP、PNG    音頻格式:WMA、MP3、M4A、（AAC）功耗：標(biāo)準(zhǔn)功耗：<150W，待機(jī)功耗工作電壓：AC100-240V，50/60Hz觸摸面材質(zhì)：防眩光鋼化玻璃感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)技術(shù)特性：HID免驅(qū)觸摸點(diǎn)數(shù)：多點(diǎn)觸控，多點(diǎn)書寫書寫方式：手指或書寫筆觸摸分辨率：32767*32767掃描速度：5ms光標(biāo)速度：125點(diǎn)/s定位精度：0.1mm通訊接口：USB存儲溫度/濕度:-20℃~60℃,10%~90%工作溫度/濕度:0℃~50℃,10%~90%安裝方式:壁掛/支架整機(jī)尺寸:1297*779*67mm重量:約47KG 

用于中低速風(fēng)洞動態(tài)流速測量，是湍流研究，風(fēng)洞試驗(yàn)的必備設(shè)備。 功能特點(diǎn)： 1.操作極簡單，無需平衡消振蕩調(diào)節(jié)； 2.流速全范圍一次標(biāo)定，任意測量； 3.動態(tài)響應(yīng)極好，貧響寬； 4.全計(jì)算機(jī)控制處理，高速 A/D，軟件包內(nèi)含基本流體測量，研究算法。 應(yīng)用領(lǐng)域： 風(fēng)洞試驗(yàn)，環(huán)境現(xiàn)場流場測量分析等

傳統(tǒng)的電解工業(yè)（電解水、氯堿工業(yè)）陰、陽極會同時產(chǎn)生兩種氣體，一般采用離子交換膜防止兩種氣體的混合，避免爆炸性混合氣體的產(chǎn)生。離子交換膜的使用增加了電解的成本，此外膜內(nèi)阻也增加了電解的能耗。且由于陽極和陰極室的氣體壓力必須通過穩(wěn)定的電源輸入保持平衡，很難利用風(fēng)能和太陽能等不穩(wěn)定的可持續(xù)能源來直接為離子膜電解池供電。另一方面，電解池中的高壓氣體和陽極氧化過程的中間產(chǎn)物也會加劇膜的老化降解，近一步增加電解成本?；陔姵仉姌O的分步法無膜電解技術(shù)有望為電池電極反應(yīng)推出一個新的研究方向，隨著電池工業(yè)迅速發(fā)展，電池電極的制備已經(jīng)非常成熟，分步法電解技術(shù)很容易利用現(xiàn)有的商業(yè)化電極實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

膜生物反應(yīng)器(MBR)是膜分離技術(shù)與生物處理方法的高效結(jié)合，其起源是用膜分離技術(shù)取代活性污泥法中的二沉池，進(jìn)行固液分離，經(jīng)過一系列研究和改進(jìn)后，膜生物反應(yīng)器(MBR)可直接達(dá)到處理出水回用的目的，并且具有污水三級傳統(tǒng)工藝無法比擬的優(yōu)點(diǎn)： 1、微生物數(shù)量高于常規(guī)生物處理2～5倍，處理程度高，中空纖維膜孔徑0.2μm，能高效進(jìn)行固液分離，出水懸浮物濃度和濁度接近于零，細(xì)菌總數(shù)接近于零，可直接用于回用目的。 2、處理工藝簡單可靠，構(gòu)筑物少，可大規(guī)模節(jié)省占地面積和征地費(fèi)用，降低水處理投資，占地面積約為常規(guī)二級處理加深度處理工藝的1/4～1/10。 3、污泥齡長，污泥產(chǎn)量低，除無機(jī)顆粒物外，基本無剩余污泥排放，由于不投加化學(xué)藥劑，所以不產(chǎn)生化學(xué)污泥。 4、出水水質(zhì)優(yōu)良，各項(xiàng)指標(biāo)低于國家污水回用有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，且不受進(jìn)水水質(zhì)影響。 5、自動化程度高，利用PLC進(jìn)行控制，不需設(shè)置專人管理，人員經(jīng)短期培訓(xùn)就能操作，維護(hù)工作量小。一、MBR-X系列膜生物反應(yīng)器進(jìn)水處理出水水質(zhì)比較 1.進(jìn)水水質(zhì)：(對于高濃度有機(jī)廢水可采用在MBR反應(yīng)器前增加預(yù)處理措施) CODcr＜500mg/L               BOD5＜300mg/L SS＜300mg/L                 NH4+-N＜40mg/L 2.出水水質(zhì)： CODcr＜20mg/L                BOD5＜5mg/L SS=0mg/L                    NH4+-N＜1mg/L 濁度＜1NTU                  細(xì)菌總數(shù)＜20個mg/L 大腸桿菌數(shù)未檢出二、MBR-X系列膜生物反應(yīng)器適用范圍 1．生活污水                       2.工業(yè)污水①城市生活污水             　 ①食品工業(yè)廢水      ②賓館、辦公樓污水 ②印染工業(yè)廢水 ③工礦企業(yè)生活污水 ③制藥工業(yè)廢水 ④公廁糞便水 ④石油化工廢水 ⑤洗車業(yè)廢水 ⑤造紙工業(yè)廢水 ⑥垃圾滲透液等                           　⑦焦炭或煤氣含酚工業(yè)廢水

本發(fā)明涉及一種塑性絲膠蛋白膜的制備方法。目前還沒有一種工藝簡單、制備條件溫和、無有毒化交聯(lián)劑、有較好的力學(xué)性能的塑性絲膠蛋白膜的制備方法。本發(fā)明的特點(diǎn)在于：依次包括如下步驟：（1）將蠶絲蛋白原料置于濃度為7-11mol/L的LiBr溶液中，于30-100℃的條件下溶解處理0.25-15min，得到不溶膠狀物；（2）將步驟（1）中得到的不溶膠狀物取出，用蒸餾水洗滌數(shù)次，除去不溶膠狀物中的LiBr分子，得到絲膠蛋白膠體；（3）將步驟（2）中得到的絲膠蛋白膠攤開鋪平，干燥后制得塑性絲膠蛋白膜。本發(fā)明的工藝簡單、制備條件溫和、不添加任何化學(xué)交聯(lián)劑而獲得具有較好力學(xué)性能的塑性絲膠蛋白膜。

"表面涂層技術(shù)是改善材料性能的有效技術(shù)之一，在現(xiàn)代工業(yè)中發(fā)揮著越來越重要的作用。將涂層與基體材料的優(yōu)良性能相結(jié)合可以有效降低材料的磨損，提高材料的強(qiáng)度，提高材料的高溫抗氧化性等性能。隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)TiN、CrN等單一涂層材料難易滿足其需要，通過復(fù)合單層材料而成的納米多層膜涂層擁有單層材料無法比擬的綜合性能而越來越被重視，成為了一種具有廣闊應(yīng)用前景的材料，具有重大的應(yīng)用和經(jīng)濟(jì)價值。 技術(shù)特點(diǎn)：該項(xiàng)目制備出了異結(jié)構(gòu)TiAlSiN/Si3N4、CrAlSiN/Si3N4納米多層膜及同結(jié)構(gòu)TiCrAlN/TiAlN納米多層膜，其硬度可超過36 Gpa，抗氧化溫度超過了800℃；可以根據(jù)實(shí)際性能需求選擇單層材料制備具有特殊性能的納米多層膜涂層材料。 "

納米孔道的離子輸運(yùn)現(xiàn)象是材料科學(xué)和生物物理等領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)。當(dāng)納米孔道的尺度達(dá)到納米即接近分子大小時，將會出現(xiàn)許多奇異的輸運(yùn)現(xiàn)象。研究這些輸運(yùn)現(xiàn)象對于了解細(xì)胞膜離子通道機(jī)制，制備新型高效分離設(shè)備淡化海水、處理污水，探索新型DNA測序方法等都有重要意義?；诤藦桔E高分子膜制備的納米孔具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)韌富有柔性并且可以高效大規(guī)模制備的優(yōu)點(diǎn)，但是由于已沿用六十多年的傳統(tǒng)化學(xué)蝕刻制備法不便可靠控制蝕刻速率，無法達(dá)到亞納米尺度。劉峰和王宇鋼課題組基于多年來核徑跡納米孔研究工作的基礎(chǔ)（JACS，2008,2009；AFM, 2010,2011; EES, 2011等），首次通過高能重離子轟擊高分子膜并進(jìn)行充分紫外線照射，不進(jìn)行蝕刻而成功制備亞納米尺度的核孔膜 （Qi Wen, et al., Advanced Functional Materials，2016, Cover Highlights)。該膜具有超高離子選擇性，比如陰陽離子選擇性高達(dá)108，但導(dǎo)通量離實(shí)際應(yīng)用尚有一定距離。事實(shí)上，選擇性和通量對于所有離子分離膜都是一對難以調(diào)和的矛盾。2017年《Science》專門就此發(fā)表題為“Maximizing the right stuff: The trade-off between membrane permeability and selectivity”的長篇評述文章，指出分離膜研究的正確方向是要同時具有高選擇性和高通量。通過優(yōu)選高分子膜并利用新的制備工藝，劉峰、王宇鋼課題組所獲得的新型納米尺度核孔膜，在保持堿金屬離子與重金屬離子高選擇性的同時，將離子的輸運(yùn)率提高了3個數(shù)量級 （圖A）。 這種納米核孔膜的優(yōu)異分離性能突破了傳統(tǒng)的分離膜和氧化石墨烯等新型分離膜的局限 （圖B）。與此同時，他們還建立了高分子納米孔模型并通過分子動力學(xué)模擬揭示，一方面由于孔的半徑在0.5納米左右極大減少了脫水勢壘的阻礙從而極大提高了輸運(yùn)量，同時由于部分脫水的離子和表面吸附的電荷之間的相互作用而保持了高選擇性 （圖C）。 這項(xiàng)研究揭示了納米孔道的離子輸運(yùn)新機(jī)制，并且為突破高選擇性和高輸運(yùn)率的矛盾提供了新的思路。通過該方法所制備的高分子膜在過濾重金屬元素的水凈化，制備新型電池等方面也有重要應(yīng)用價值。