一種固定音圈電機(jī)直驅(qū)式 X-Y 微動(dòng)平臺(tái)
本發(fā)明涉及一種直線電機(jī)直驅(qū)的二維微動(dòng)平臺(tái),為一種固定音圈電機(jī)直驅(qū)式 X-Y 微動(dòng)平臺(tái),包括基座、音圈直線電機(jī)、X 向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y 向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、解耦部件和光柵尺等。音圈直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) X-Y二維微動(dòng)平臺(tái);X 方向和 Y 方向音圈直線電機(jī)均固接于底座,通過(guò)解耦部件實(shí)現(xiàn) X 向和 Y 向的運(yùn)動(dòng);利用光柵尺來(lái)檢測(cè)電機(jī)位置。本發(fā)明為提高運(yùn)動(dòng)速度和運(yùn)動(dòng)精度,屏棄了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),采用直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng);為降低運(yùn)動(dòng)慣量,設(shè)計(jì)了解耦部件,X、Y 向直線電機(jī)均固定來(lái)實(shí)現(xiàn) X-Y 二維運(yùn)動(dòng);為實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定
華中科技大學(xué)
2021-04-14