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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

【發(fā) 明 人】陳勇；李祥；陳建偉；邱燕 【摘要】       本發(fā)明公開(kāi)一種從番荔枝種子中制備得到具有防治農(nóng)業(yè)病蟲(chóng)害的番荔枝內(nèi)酯化合物安諾史可汀甲(Annosquatin A)。本發(fā)明通過(guò)大量生物活性測(cè)定結(jié)果表明，番荔枝內(nèi)酯安諾史可汀甲對(duì)豆蚜和朱砂葉螨均有不同程度的毒殺活性，尤其對(duì)豆蚜表現(xiàn)出比阿維菌素更好的毒殺活性，并且安諾史可汀甲為從番荔枝種子提出提到，對(duì)環(huán)境污染小，綠色環(huán)保，可開(kāi)發(fā)為新的防治農(nóng)業(yè)病蟲(chóng)害的農(nóng)藥制劑。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹                             易燃易爆化學(xué)品柜 1、產(chǎn)品介紹      產(chǎn)品有黃（黃色指示易燃液體）、紅（紅色指示可燃液體）、藍(lán)（藍(lán)色指示弱腐蝕性液體）三種顏色，三種顏色的尺寸相同，儲(chǔ)放化學(xué)品類型不同。在儲(chǔ)存化學(xué)品的過(guò)程中，使用有色標(biāo)簽來(lái)識(shí)別、整理、分開(kāi)各種易燃或危險(xiǎn)液體。這樣做同時(shí)又能在發(fā)生火災(zāi)時(shí)方便消防人員識(shí)別危險(xiǎn)品。 2、產(chǎn)品圖片  3、產(chǎn)品特征：      ◆高性能的安全柜達(dá)到OSHA標(biāo)準(zhǔn)（美國(guó)職業(yè)安全健康管理局），符合NFPA（美國(guó)國(guó)家消防協(xié)會(huì)）第30條規(guī)定的要求用于規(guī)范存儲(chǔ)易燃易爆液體及危險(xiǎn)化學(xué)品。      ◆防火安全柜整體為雙層防火鋼板構(gòu)造，兩層鋼板之間間隔40mm，內(nèi)填特種防火材料，防火性能更為卓越。      ◆采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板，增加強(qiáng)度，防火性能更好。      ◆柜身底部50mm高的防漏液槽最大可能的防止化學(xué)液體的外溢。      ◆獨(dú)有的鍍鋅層板，防腐蝕，防液漏，最大可承托400lbs的鋼制安全罐。      ◆柜體內(nèi)外都噴涂有持久的，無(wú)鉛的環(huán)氧樹(shù)脂漆，最大程度的增加抗化學(xué)品的能力。      ◆標(biāo)有三種語(yǔ)言的高可見(jiàn)度標(biāo)簽，耐腐蝕。      ◆兩個(gè)可帶有防火裝置的通風(fēng)口，分別位于柜身的兩側(cè)。      ◆四個(gè)可調(diào)節(jié)水平支架，確保柜體穩(wěn)固。                   

產(chǎn)品詳細(xì)介紹55000-440PRC本安型智能感溫探測(cè)器一、55000-440PRC特點(diǎn)：                                    55000-440PRC本安型智能感溫探測(cè)器采用本質(zhì)安全電路設(shè)計(jì)，低功耗并有效降低了電路板內(nèi)的儲(chǔ)能，使其電氣性能符合安全環(huán)境的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。可編址智能感溫探測(cè)器，通過(guò)配合使用阿波羅生產(chǎn)的通信協(xié)議轉(zhuǎn)換器55000 - 855、55000 - 856及安全柵29600-098可連接到安全區(qū)域內(nèi)的智能火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)。 二、55000-440PRC應(yīng)用： 55000-440PRC本安型智能感溫探測(cè)器可適用于建筑內(nèi)多種危險(xiǎn)區(qū)域，這些區(qū)域可能含有各種易燃易爆的氣體或空氣混合物。該探測(cè)器必須配合使用阿波羅生產(chǎn)的各種通訊協(xié)議轉(zhuǎn)換器如55000 - 855，55000 - 856及安全柵。 三、55000-440PRC工作原理： 55000-440PRC本安型智能感溫探測(cè)器的工作原理類似于55000 - 420。四、55000-440PRC技術(shù)要求： 二線制有極性要求，具有獨(dú)立地址。有4級(jí)靈敏度可作高速根據(jù)不同環(huán)境及時(shí)間做出不同的設(shè)定，減低誤報(bào)率。可通過(guò)插片設(shè)置地址與其它系統(tǒng)部件安裝。如需連接遠(yuǎn)程報(bào)警指示燈，需采用高效的發(fā)光二極管，最大點(diǎn)燈電流ImA。 五、55000-440PRC技術(shù)參數(shù)： 探測(cè)器類型       定溫感溫探測(cè)器A2S 接線端子           Ll  正極；L2  負(fù)極；+R  遠(yuǎn)程指示燈正極 工作電壓           直流14 - 22V;兩線制有極性 靜態(tài)電流           平均300 u A 遠(yuǎn)程LED報(bào)警電流  1mA 工作環(huán)境溫度      - 20℃至+40℃  (T5)                                 - 20℃至+60℃  (T4) 等級(jí)              E Ex ia IIC T5 (T4 Ta≤60 ℃) 認(rèn)證              CCCF．BASEEFA