|
搜索
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺
半導體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學
2022-07-22
單、三相電能表反竊電裝置
?一、項目背景 我院反竊電技術(shù)已獲得專利權(quán)，達到國內(nèi)領(lǐng)先水平。該技術(shù)適用于幾乎全部現(xiàn)行機械走字表（DD28、DD862型等）幾大部分電子電能表，不增加電表負荷，不影響電表走字，竊電量達到幾十瓦即自動斷電。二、項目簡介 1.TS4—03A兼有超限自斷、延時復原功能的反竊電裝置（這是根據(jù)湖北省電力局用電處要求研制的加裝于電表外的最新產(chǎn)品，放棄防摘鉤竊電功能）。其特殊功能是：①對短路或起動時超表限不予理會；②對穩(wěn)態(tài)超限或竊電會短延時后自斷供電；③如不再超限或竊電，經(jīng)長延時（可按協(xié)議整定：幾分鐘——幾十分鐘）后自行復原，否則經(jīng)自動檢測口再次自斷。 2.TS4—03B兼有超限自斷功能的反竊電裝置。其主要功能同上，但加裝于表內(nèi)（有防摘鉤竊電功能）。 3.TS3—03高靈敏自斷記憶型反竊電裝置。僅有反四種竊電手法功能，自斷后需分合總電源開關(guān)一次才能復原。 4.TS2三相電能表反竊電裝置。其功能是：①防斷電壓線圈；②防反接1～2個電流互感器；③防任短1～3個電流互感器二次繞組開頭。
武漢工程大學
2021-04-11
業(yè)大學.jpg){kind=logo}
一種便于安裝的曲管地溫表
本實用新型公開了一種便于安裝的曲管地溫表，包括：L型的溫度計保護管，所述溫度計保護管的端部設(shè)置有鉆頭，所述溫度計保護管的底端開設(shè)有感溫孔，溫度計保護管的水平管上設(shè)置有數(shù)顯孔，曲管溫度計安裝于溫度計保護管內(nèi)。由于在曲管溫度計的外側(cè)設(shè)置了帶有鉆頭的溫度計保護管，能夠?qū)η軠囟扔嬈鸬奖Ｗo作用，避免在按壓過程中對曲管溫度計的損壞，降低儀器耗損率，本實用新型相對于傳統(tǒng)曲管地溫表，操作更簡單，能夠快速、便捷的完成地溫表的安裝工作，省時省力，且能有效保護儀器，降低儀器耗損。
青島農(nóng)業(yè)大學
2021-04-13
大學.jpg){kind=logo}
4＇-去甲基表鬼臼酸的制備和分離方法
研發(fā)階段/n本發(fā)明公開了一種將４′－去甲基表鬼臼毒素轉(zhuǎn)化為４′－去甲基表鬼臼酸的方法，包括：在微生物梭狀芽孢桿菌、銅綠假單胞菌、紅串紅球菌、北京棒桿菌、枯草桿菌、噬夏孢歐文氏菌、芽孢桿菌或彎曲假單胞菌的發(fā)酵過程中加入４′－去甲基表鬼臼毒素溶液，進行生物轉(zhuǎn)化反應，得到含有４′－去甲基表鬼臼酸的生物轉(zhuǎn)化基質(zhì)。本發(fā)明還公開了一種將４′－去甲基表鬼臼酸從生物轉(zhuǎn)化基質(zhì)中分離的方法，包括：將生物轉(zhuǎn)化基質(zhì)用大孔吸附樹脂柱進行初分離，并以凝膠柱層析進行細分離，得到４′－去甲基表鬼臼酸。本發(fā)明利用生物轉(zhuǎn)化對４′－去甲
湖北工業(yè)大學
2021-01-12
絕緣電阻表(ZC25-3)（J01406）
???????? 本儀表用于測量各種電機、電覽、變壓器、電訊元器件、家用電器和其它電氣設(shè)備的絕緣電阻。
技術(shù)性能:? 1、額定電壓: 220V ;? 2、測量范圍: 0-500MΩ ;? 3、準確度等級: ±10% ;? 4、使用條件: 溫度-25～+40℃, 相對濕度不大于80%; ?5、搖柄額定轉(zhuǎn)速:120f/min ;?? 6、外磁場影響: 當外界磁場強度為0.4KA/m時, 儀表允許改變量為等級指數(shù)的100%;? 7、傾斜影響: 當儀表自水平位置向傾斜5度時，儀表允許改變量為等級指數(shù)的50%;?? 8、絕緣電阻: 儀表所有線路與外殼之間的絕緣電阻應不小于2 MΩ;??? 9、試電壓: 儀表能耐受頻率為50Hz的正弦波交流電壓歷時1min試驗，電壓有效值為1000V;?? ????????????????10、刻度弧長: 約65mm ;
11、外型尺寸:205 mm×120 mm×14 mm ;?? ???12、重量: 2Kg ;?? ?????13、標準代號: JB/T9290-1999。
杭州電表廠
2021-08-23
交直流電壓電流表(安裝式)
杭州電表廠
2021-08-23
GSB-94型高壓直流數(shù)字電壓表
產(chǎn)品詳細介紹/////////////////////////////////////////////////////////////////////////
////////////////
深圳市世紀經(jīng)典檢測儀器有限公司
銷售熱線：15914142916
傳真：0755-84812743
郵箱：186jl@163.com
////////////////
/////////////////////////////////////////////////////////////////////////
一、概述
GSB-94高壓直流數(shù)字電壓表采用先進的集成電路技術(shù)和直流高壓分壓技術(shù)生產(chǎn)的直流高電壓測量儀表。它輸入電阻高（10GΩ），測量速度快，過載能力強，準確度高，重量輕，攜帶方便。本儀表是測量直流高電壓的理想儀表。兆歐表的工作電壓是直流電壓，以往采用靜電電壓表來測量，但靜電電壓表是測量有效值的儀表，即使兆歐表的整流電路損壞的情況下，靜電電壓表仍有讀數(shù)顯示。高壓直流數(shù)字電壓表正逐漸替代靜電電壓表來測量兆歐表的開路電壓和中值電壓等。它將是未來的兆歐表檢定規(guī)程中規(guī)定的測量直流電壓的儀表。
二、主要技術(shù)指標
2.1 測量范圍：0～5kV
2.2 分辨率：1V
2.3 準確度：±1%讀數(shù)±0.2%滿度
2.4 讀數(shù)穩(wěn)定性：≤±1個字
2.5 輸入電阻：10GΩ
2.6 顯示：以液晶管顯示測量結(jié)果。
2.7 極性：自動顯示：測量正電壓時無極性符號顯示；測量負電壓時顯示“-”
2.8 供電電源：220V AC
2.9 外形尺寸：210mm×230mm×95mm
2.10 重 量：1.5kg
深圳市世紀經(jīng)典檢測儀器有限公司
2021-08-23
MP系列Mini-Photohelic袖珍型微差壓表
產(chǎn)品詳細介紹產(chǎn)品名稱: MP系列Mini-Photohelic袖珍型微差壓表/開關(guān)產(chǎn)品型號: MP袖珍型、經(jīng)濟型的微差壓開關(guān)/表適合空氣或非可燃性氣體,用于煙罩、氣動傳動及凈化間壓差指示、上限控制、下限控制輸出：兩個SPDT繼電器,容量5A/28VDC/120VAC/240VAC范圍：0-125/250/500Pa/1KPa/等規(guī)格,最大1bar工作溫度：-6.7-+49°C精度：±5%F.S.O.報警:表盤上LED指示報警狀態(tài)設(shè)定:按鍵調(diào)節(jié)尺寸：78X98mm重量：652g認證:UL,CUL選型表:型 號 量程（in.w.c.） 型 號 量程（mm.w.c.） MP-000 0-0.5 MP-25MM 0-25 MP-001 0-1.0 MP-50MM 0-50 MP-002 0-2.0 MP-100MM 0-100 MP-003 0-3.0 型號 量程（Pa） MP-005 0-5.0 MP-125Pa 0-125 MP-010 0-10 MP-250Pa 0-250 MP-020 0-20 MP-500Pa 0-500 MP-040 0-40 型 號 量程（KPa） MP-060 0-60 MP-1Kpa 0-1 MP-100 0-100 MP-3Kpa 0-3 型 號 量程（psi） MP-5PSI 0-5 MP-10PSI 0-10 MP-15PSI 0-15
深圳市德威達科技有限公司
2021-08-23
NK302系列手持式光波多用表
青島諾克通信技術(shù)有限公司
2021-09-10
線控制動 EHB 線控液壓剎車 無人車線控底盤 自動駕駛 i-booster
浙江天尚元科技有限公司
2022-06-20