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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級(jí)也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場(chǎng)需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機(jī)、檢測(cè)機(jī)、測(cè)量機(jī)、修復(fù)機(jī)和貼膜機(jī)等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊(duì)致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計(jì)及驗(yàn)證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊(duì)掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補(bǔ)償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測(cè)量裝備 尺寸測(cè)量是驗(yàn)證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測(cè)量(CD)和長尺寸測(cè)量(TP)。團(tuán)隊(duì)已掌握掩膜版的關(guān)鍵測(cè)量技術(shù)，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機(jī)制造能力。 TP測(cè)量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測(cè)量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價(jià)格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對(duì)中國出口。團(tuán)隊(duì)目前正在攻克該項(xiàng)技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補(bǔ)技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團(tuán)隊(duì)已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機(jī)制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動(dòng)貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個(gè)不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動(dòng)貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團(tuán)隊(duì)具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運(yùn)營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊(duì)對(duì)MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計(jì)有豐富經(jīng)驗(yàn)，掌握高等級(jí)防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺(tái)的設(shè)計(jì)施工，可達(dá)到VC-D級(jí)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級(jí)生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢(shì)】 （1）掌握了高性價(jià)比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)掩膜版設(shè)計(jì)開發(fā)能力和驗(yàn)證平臺(tái)，驗(yàn)證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗(yàn)的隊(duì)伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險(xiǎn)可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

本發(fā)明公開了一種混合集成電控液晶光開關(guān)陣列，包括：被混合集成的電控液晶聚光微透鏡陣列和電控液晶散光微透鏡陣列，每單元液晶聚光微透鏡與每單元液晶散光微透鏡的光軸重合；在加電態(tài)下，聚光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號(hào)作用下實(shí)施光束的可調(diào)焦聚光操作，散光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號(hào)作用下實(shí)施光束的可控發(fā)散程度散光操作；在斷電態(tài)下，液晶聚光微透鏡與散光微透鏡被轉(zhuǎn)換為僅延遲光波相位的液晶相移板；液晶聚光微透鏡與散光微透

本發(fā)明公開了一種光伏發(fā)電并網(wǎng)控制方法及系統(tǒng)。該方法一方 面利用光伏電池電壓，電流信息，根據(jù)電壓變化率，電流變化率以及 電導(dǎo)變化率將擾動(dòng)法和增量電導(dǎo)法結(jié)合進(jìn)行最大功率點(diǎn)跟蹤(MPPT) 控制，在溫度以及光照輻射強(qiáng)度變化時(shí)，實(shí)現(xiàn)對(duì)最大功率點(diǎn)的及時(shí)跟 蹤，提高光伏電池的輸出效率；另一方面采用多重控制策略，將并網(wǎng) 點(diǎn)的頻率、功率以及電壓作為控制量，能在光伏電池并網(wǎng)以及電網(wǎng)運(yùn) 行狀態(tài)發(fā)生變化時(shí)進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)響應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光伏發(fā)電并網(wǎng)運(yùn)行 的控制。 

EVA膠膜封裝是太陽能光伏電池重要的組件之一，通過封裝可以保護(hù)電池片和電極、提高電池的發(fā)電效率和耐久性。本產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目通過改善封裝材料的透光率、粘接強(qiáng)度及耐老化等性能提高太陽能電池的發(fā)電效率和延長使用壽命，降低光伏發(fā)電成本，制備使用壽命可達(dá)30年、低成本高性能EVA膠膜。已實(shí)現(xiàn)工程化，可提供全套解決方案，包括配方、技術(shù)工藝、生產(chǎn)線設(shè)備定制等全套技術(shù)。建成示范生產(chǎn)線1條.

 本項(xiàng)目針對(duì)光伏發(fā)電分散式接入電網(wǎng)的模式，設(shè)計(jì)了對(duì)電網(wǎng)友好可控的帶儲(chǔ)能裝置的多端口變換器光儲(chǔ)一體能源系統(tǒng)。應(yīng)用環(huán)境有公共建筑、工業(yè)廠房和居民家庭等有公共電網(wǎng)的地方，或者無公共電網(wǎng)但有電力需求的地方如偏遠(yuǎn)山區(qū)、海島等，該光儲(chǔ)能源系統(tǒng)能夠經(jīng)過自我調(diào)節(jié)和控制與大電網(wǎng)互為支撐，向重要負(fù)載不間斷供電等功能。 本項(xiàng)目成功開發(fā)50Kw光儲(chǔ)一體能源系統(tǒng)，系統(tǒng)含有光伏端口、電池端口和交流端口，光伏組件通過Boost變換器接入直流母線；蓄電池通過雙向DC/DC變換器也接在直流母線上；變換器的交流端口可以接電網(wǎng)，也能為三相負(fù)載供電，逆變器采用三相四線制結(jié)構(gòu)，直流母線分裂電容的電壓均衡由均壓橋臂（S11，S12）平衡。本系統(tǒng)有三大特征：采用雙路光伏MPPT輸入，使安裝在不同方向的光伏陣列最大限度獲取太陽能；能量采用直流母線匯聚形式，降低了系統(tǒng)損耗和效率；負(fù)載接口分為重要負(fù)載和可控負(fù)載接口，確保系統(tǒng)維持對(duì)重要負(fù)載的供電，實(shí)現(xiàn)能量的平衡自治。 項(xiàng)目具有重大的科研價(jià)值，項(xiàng)目成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品轉(zhuǎn)化，將應(yīng)用于海南某小區(qū)幾個(gè)單元的供電系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)能量自給自足、余電上網(wǎng)模式，開啟綠色環(huán)保、低碳節(jié)能的新用電方式。

成果簡介：在航空航天領(lǐng)域，光電儀器受溫度影響會(huì)產(chǎn)生像移，成像質(zhì)量會(huì) 變差，影響探測(cè)。本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、有限元分析、光學(xué)表面自由曲面面型擬合結(jié)合起來，可以分析在恒溫和瞬態(tài)溫度變化的情況下，成像 質(zhì)量的變化，進(jìn)而給溫控提供準(zhǔn)確的技術(shù)方案和技術(shù)途徑。 項(xiàng)目來源：橫向項(xiàng)目 技術(shù)領(lǐng)域：信息技術(shù) 應(yīng)用范圍：航空航天光電探測(cè)領(lǐng)域 現(xiàn)狀特點(diǎn)：國內(nèi)領(lǐng)先 技術(shù)創(chuàng)新： 本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、有限元分析、光

東南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院青年教師陳旭漫博士在國際頂級(jí)期刊《Angewandte Chemie（德國應(yīng)用化學(xué)）》上發(fā)表題為“Efficient Near-Infrared Emissive Artificial Supramolecular Light-Harvesting System for Imaging in Golgi Apparatus”的學(xué)術(shù)論文。 光捕獲過程作為將自然光進(jìn)行捕獲、能量轉(zhuǎn)化并利用的步驟，是植物光合作用中第一個(gè)也是十分重要的過程。構(gòu)筑人工光捕獲體系對(duì)于光能的利用具有重要意義，但目前構(gòu)筑具有高效人工光捕獲體系仍存在很大挑戰(zhàn)。 東南大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用“杯芳烴誘導(dǎo)聚集”策略，設(shè)計(jì)合成兩親磺化杯芳烴和陽離子型萘基吡啶衍生物作為熒光給體在水溶液中自組裝，并引入尼羅藍(lán)作為熒光受體分子，成功構(gòu)筑了近紅外發(fā)射的超分子人工光捕獲體系。

120mm×80mm×110mm，紅、綠、藍(lán)三色光源亮度可調(diào)，學(xué)生可分組探究光的三原色合成。

335mm×200mm×95mm，光罩φ35mm×160mm，工作電壓DC6V/0.3A，內(nèi)外接電源均可，三色光可單獨(dú)或合并工作，可合成白光。