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1.痛點問題 光刻膠作為集成電路制備中不可或缺的一部分，已成為國家的戰略資源之一。半導體光刻膠的核心在于成膜樹脂，受限于研發難度大、專利壁壘高、資金投入多、準入門檻高，目前國內企業尚難以突破KrF膠（248nm）或ArF膠（193nm），而EUV膠完全不能自主供給。 2.解決方案 本項技術采用了國際最前沿的納米氧化物團簇材料的工藝路線，可以實現單2nm小分子的光刻膠成膜樹脂材料，攻克了材料合成和納米材料提純的難題，可滿足目前半導體3nm制程節點的技術要求，RLS分辨率、邊緣粗糙度、靈敏度三項關鍵性能指標優異，其曝光劑量遠低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本線。此外，本項技術具有多種半導體光刻膠兼容性，可以生產248nm和193nm光源的半導體光刻膠成膜樹脂，以及電子束半導體掩膜用光刻膠成膜樹脂，具有廣闊的技術替代優勢和市場應用前景。 3.合作需求 本項技術已設立衍生企業，位于江蘇常州的3000m2研發生產中心正在建設中。 1）融資需求：本輪天使輪融資6000萬元。 2）資源對接需求：集成電路芯片制造、掩膜板生產企業，地方政府等。

 YJ-2102H全自動膏藥軟化點測定儀 YJ-2102H全自動膏藥軟化點測定儀是根據中華人民共和國藥典標準2020年版四部通則2102膏藥軟化點測定法的要求，測定膏藥在規定條件下受熱軟化時的溫度情況，膏藥因受熱下墜25mm時的溫度，用于檢測膏藥的老嫩程度，并可間接反映膏藥的黏性。該儀器適用于可以滿足各個膏藥生產廠家、藥檢所以及相關單位使用。 一、主要技術特點 1、采用電腦智能控制、激光自動檢測、液晶觸摸屏人機界面、絲杠步進電機升降等技術，具有升溫線性，浴液攪拌均勻，自動完成試樣檢測等特點。是一款自動化程度高、測試快捷方便、測試結果準確可靠的膏藥軟化點測定儀器。 2、儀器通過加熱管溶液介質和膏藥加熱，通過磁力攪拌器攪拌使燒杯內溫度均勻，控制器采用插補算法控制輸出，使介質按照1.0-1.5℃/分鐘線性上升。試驗環內的膏藥在升溫過程中開始慢慢軟化，當達到軟化溫度點時，試樣環內的膏藥在鋼球重力作用下呈水滴狀緩慢下降，當兩個試樣環內的膏藥下降接觸到下擋板時的溫度平均值即為膏藥軟化點溫度。 3、儀器主要由機箱支架、觸摸屏人機界面、絲杠升降系統、加熱升溫調節系統、激光檢測系統、磁力攪拌系統等部分組成。 4、為方便試驗操作和組件在燒杯內的平穩升降，設計了一款試驗平臺，試驗組件懸掛定位在試驗平臺上，通過絲杠驅動試驗平臺及試驗組件平穩下降并定位精準，實現對射激光的光柱柱貼近下擋板的上側面。 5、試驗過程有動畫模擬顯示，觸摸操作，人機交互界面，更直觀，更方便。 6、溫度控制采用斜率插補算法，精準升溫，程序控制，實時控溫。 7、分體式磁力攪拌采用無極調速，溫度更加均勻。 8、激光對射自動檢測判斷樣品下落，抗干擾能力強，反應靈敏度高。 二、主要技術指標和參數   1、測量范圍 A.試樣軟化點在80℃以下者，5℃～80℃（蒸餾水）。 B.試樣軟化點在80℃以上者，32℃～162℃（甘油）。 2、溫度分辨率:0.1℃（偏差可修正）。 3、加熱管功率:700W。 4、升溫斜率:升溫速率穩定在1.0-1.5℃/min。 5、燒杯尺寸:直徑110mm，高度130mm。 6、測量樣品數:同時測量2個試樣。 7、攪拌器 :磁力攪拌，攪拌速度連續可調。 8、試驗結果處理 200組數據存儲。 9、存儲的數據可液晶調取顯示，也可U盤轉存查看(.csv文件)。 10、可選配微型打印機打印結果。 11、通訊接口 RS-485通訊接口，ModBus協議。 12、外形尺寸 390mm×300mm×575mm（長×寬×高）。 13、工作電源 220±10%VAC/50Hz。 14、整機功率 最大800W。 15、整機凈重 12.0Kg。 16、使用環境： A.溫度：15℃～35℃且相對穩定，無明顯空氣對流現象； B.濕度：≤85％；

YJ-8146H全自動松香軟化點測定儀 本儀器是根據本儀器是根據中華人民共和國2020年藥典松香軟化點測定所規定的要求設計制造的，是本公司最新開發的軟化點試驗器的升級產品，適用于松香等物質的軟化點測試。按照藥典要求，軟化點取本品適量，依法檢查（通則2102膏藥軟化點測定方法）,升溫速率約為每分鐘5.0°C ±0.5°C,軟化點應不低于76.0°C。同時本儀器也符合GB/T 8146-2003 松香試驗方法中軟化點測試要求。 一、主要技術特點 1、采用電腦智能控制、激光自動檢測、液晶觸摸屏人機界面、絲杠步進電機升降等技術，具有升溫線性，浴液攪拌均勻，自動完成試樣檢測等特點。是一款自動化程度高、測試快捷方便、測試結果準確可靠的松香軟化點測定儀器。 2、儀器通過加熱管溶液介質和松香加熱，通過磁力攪拌器攪拌使燒杯內溫度均勻，控制器采用插補算法控制輸出，使介質按照5℃/分鐘線性上升。試驗環內的松香在升溫過程中開始慢慢軟化，當達到軟化溫度點時，試樣環內的松香在鋼球重力作用下呈水滴狀緩慢下降，當兩個試樣環內的松香下降接觸到下擋板時的溫度平均值即為松香軟化點溫度。 3、儀器主要由機箱支架、觸摸屏人機界面、絲杠升降系統、加熱升溫調節系統、激光檢測系統、磁力攪拌系統等部分組成。 4、為方便試驗操作和組件在燒杯內的平穩升降，設計了一款試驗平臺，試驗組件懸掛定位在試驗平臺上，通過絲杠驅動試驗平臺及試驗組件平穩下降并定位精準，實現對射激光的光柱柱貼近下擋板的上側面。 5、試驗過程有動畫模擬顯示，觸摸操作，人機交互界面，更直觀，更方便。 6、溫度控制采用斜率插補算法，精準升溫，程序控制，實時控溫。 7、分體式磁力攪拌采用無極調速，溫度更加均勻。 8、激光對射自動檢測判斷樣品下落，抗干擾能力強，反應靈敏度高。 9、配備松香專用制樣環，保證測試結果的準確性。 10、本產品榮獲國家資質證書，編號為：軟著登字第6089527號。 二、主要技術指標和參數 1、測量范圍 A.試樣軟化點在80℃以下者，5℃～80℃（蒸餾水）。 B.試樣軟化點在80℃以上者，32℃～160℃（甘油）。 2、溫度分辨率:0.1℃（偏差可修正）。 3、加熱管功率:700W。 4、升溫斜率:啟動三分鐘后，升溫速率穩定在(5.0±0.5)℃/min。 5、燒杯尺寸:直徑110mm，高度130mm。 6、測量樣品數:同時測量2個試樣。 7、攪拌器 :磁力攪拌，攪拌速度連續可調。 8、試驗結果處理 200組數據存儲。 9、存儲的數據可液晶調取顯示，也可U盤轉存查看(.csv文件)。 10、可選配微型打印機打印結果。 11、通訊接口 RS-485通訊接口，ModBus協議。 12、外形尺寸 390mm×300mm×575mm（長×寬×高）。 13、工作電源 220±10%VAC/50Hz。 14、整機功率 最大800W。 15、整機凈重 12.0Kg。 16、使用環境： A.溫度：15℃～35℃且相對穩定，無明顯空氣對流現象； B.濕度：≤85％；

TDA（芯片熱設計自動化）軟件是清華航院曹炳陽教授團隊全自主研發的國際首個芯片跨尺度熱仿真與設計系統。TDA軟件可實現芯片從納米至宏觀尺寸的熱設計與仿真，支持芯片微納結構內部熱輸運過程的模擬研究，直接提高芯片熱仿真精度與結溫預測準確度，進而提高芯片性能、壽命和可靠性。

本發明屬于檔案分類與檢索技術領域，涉及一種基于B/S架構檔案管理信息系統的檔案自動編研方法；首先按照案卷目錄、卷內目錄和專家登記卡界面給出的統一格式分別錄入檔案信息，再由檔案錄入與管理模塊利用自動層次分類算法對檔案信息進行自動分類和匯總，并分別存入相對應的數據庫中；然后檔案編研模塊根據用戶輸入的編研條件和存入的信息對相應數據庫進行檢索、查詢并匯總生成檔案編研結果，最后將檔案編研結果顯示在屏幕上，或將檔案編研結果以Word文檔或Excel報表的形式導出打印后形成紙質文檔保存，實現檔案的自動編研；其設計原理科學可靠，編研勞動強度小，工作效率高，信息疏漏少，保證編研的質量和價值，編研效率高，編研環境友好。

南京研旭電氣科技有限公司與2009年成立，是一家集研發、生產、銷售一體的科技型企業，以嵌入式開發和電力電子定制為基礎，通過多年的技術積累和用戶反饋，研旭在微電網新能源、電力電子和電機控制領域的教學和科研領域擁有了大量的技術積累和開放式開源服務的經驗。 公司經多年歷練，現橫跨高教、電源兩個領域，形成獨特的交叉優勢。在功率硬件教研系統中，研旭有著成熟的功率硬件工業成品的經驗，在功率硬件成品企業中，研旭有著對功率硬件高效研發過程的理解與工具鏈的支持。主要產品如下：嵌入式開發工具、電力電子功率硬件模組、快速原型開發控制系統、開放式風光儲創新實驗平臺、開放式微電網創新實驗平臺、工業變流器等。推出的產品在多個科研院所、實際項目工程中得到應用，廣受好評。 “激流勇進，合作共贏”，研旭人將秉著（“延續”）中華民族優良傳統“誠信、可靠、勤奮、拼搏、團結、創新、智慧”，將在數字技術、新能源技術開發中縱橫辟闔（YX），研旭“研”發產品與服務，似那初升“旭”日，冉冉升起，不斷溫暖大家，研旭將與客戶一道共創輝煌！

華研東升（北京）儀器有限公司，是一家專注于實驗室前處理儀器、分析儀器的研發、制造、銷售、服務于一體的專業制造廠家。生產的產品主要有顎式破碎儀，盤式研磨儀，切割式研磨儀，臼式研磨儀，冷凍研磨儀、行星式球磨儀，振動球磨儀，超離心研磨儀，刀式研磨儀、分樣儀、混樣儀、篩分儀等。儀器廣泛應用于教育科研、地質冶金、生物醫藥、建材、電子制造、節能環保等行業和領域，與廣大用戶建立了良好的合作關系。        華研東升研發團隊致力于對新儀器，新技術的改造，運用高端核心技術，不斷提升公司儀器的自動化、智能化水平，其性能指標、技術力量、產品種類均達到國內的高水平，與多家知名企業合作，致力于為客戶研發生產高品質，多元化的實驗儀器。專業的售后服務團隊為您提供儀器的安裝調試、培訓、維修維護、技術支持等，用實際行動，詮釋我們的完美服務。        生產基地設立于北京昌平區技術產業創業園，現有辦公及生產車間占地面積4000平方米，，現代化標準廠房及完善的相關檢測儀器設備，保證了提供的儀器質量可靠，精確度高，確保交付的產品滿足客戶的實驗需求， 華研東升秉承以“質量求生存”的信念，不斷完善公司的管理制度、不斷提高對產品質量的要求，不斷增加技術創新。并通過了ISO9001：2015質量管理體系認證，企業管理日趨標準化和規范化。       華研東升秉承品質為先，誠信為本，創新為要，客戶為尊的宗旨，憑借雄厚的技術實力，不斷進取的創新精神，為客戶提供更豐富的產品，更優質的專業服務，愿與廣大客戶共同努力，為我國科學儀器事業貢獻力量！

本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，通過其獲得具有穩定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進口進入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝冷卻液回路同時流經該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝冷卻液和浸液的熱交換，獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置采用內部回流結構與熱交換器

本發明公開了一種光刻機自動調焦方法及裝置，其方法是將平行光束經第一狹縫投射至硅片表面，再經振動反射鏡掃描后通過第二狹縫，由光電探測器接收光強信號，然后通過提取光強信號中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調量，通過提取光強信號中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調量，最后由驅動裝置調整硅片至焦點位置。調焦裝置主要由兩個狹縫、一個振動反射鏡、光電傳感器、驅動臺和若干光學鏡片組成，信號處理過程由計算機編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強度進行調焦的方式，具有結構簡單、響應迅速、精度高(優于 0.

YJ-0613G 全自動藥物凝固點測定儀 本儀器按《中華人民共和國藥典》2020年版四部 通則 0613凝點測定法要求設計制造，用于檢測化學試劑及藥物等凝固點。本儀器采用了模塊化設計，檢測部分采用了先進的傳感器，主控部分采用工業級PLC系統，控制性能穩定，制冷采用高性能壓縮機，具有降溫速度快，使用壽命長等優點。本儀器采用工業控制屏操作，樣品裝好后，一鍵開啟，自動往返式機械攪拌、自動顯示溫度曲線、自動判斷凝固點、自動打印測試數據。本儀器配有加熱和制冷，介質浴溫控范圍廣。 一、技術參數 1、工作電源： AC220V±10% 50Hz 2、依據標準： 2020版中國藥典 3、顯示方式:  7寸工業級彩色液晶觸摸屏，全中文操作界面 4、控制系統： 工業級PLC控制 5、冷浴溫度范圍： -40～80 ℃，分辨率 0.1 ℃ (也可以選配-70～80 ℃) 6、測溫元件:  高精度溫度傳感器 7、工作單元： 單浴雙孔（可獨立可同時實驗） 8、恒溫浴液： 防凍液、水或酒精（依據恒溫浴實驗要求） 9、攪拌方式：  電機攪拌，60次/min 10、制冷方式:  壓縮機制冷 11、數據輸入:  觸摸屏數據輸入 12、數據輸出:  微型熱敏打印機，自動打印，打印快速、清晰 13、存儲數據:  自動儲存1000個測定結果，可隨時查看或打印歷史測試數據 14、環境溫度:  5℃～30℃   15、相對濕度： 30～70%RH 二、性能特點 1、7寸工業級彩色觸摸顯示器，全中文操作界面，實時顯示試樣凝固點過程的溫度曲線。 2、儀器自動攪拌，自動判斷凝固點、自動打印測試數據。 3、采用高性能壓縮機，低噪音、降溫快。 4、采用高精度溫度傳感器，內置溫度校正，檢測結果可靠。 5、儀器浴槽為杜瓦瓶材質，耐低溫和高溫范圍寬、 根據實驗要求選用適合的溫度來實驗。 6、采用電機攪拌，特殊機械攪拌裝置，攪拌均勻。