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目前半導體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團的成膜材料和光產酸劑組成，這種體系最大的問題是光產酸在后烘階段會發生酸遷移，導致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產酸劑，且其光產酸是高分子強酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產酸基團的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們在曝光過程中產生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產酸劑與其它成膜材料一起組成化學增幅型光致抗蝕劑。 以之為產酸劑與其它部分保護的對羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護部分酚羥基，由其組成了單組分的化學增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現。   利用高分子產酸劑透明性好的特點，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達5：1的光刻圖形：   在此基礎上，還制備了負型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現。這些高分子光產酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應條件溫和可控，去金屬雜質的方法也是簡便易行，成本相對低廉，在經過多年的深入研究之后，完全具備了產業化的條件。 半導體加工的關鍵設備、材料主要掌握在美、日手中，對我國電子工業的平穩發展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關鍵材料，日本公司的產品占據全球市場的70%以上，而我國在中高端產品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進口，即便是低端的i-線光刻膠國產化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉這種不利的局面，這需要科研工作者和產業界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會的廣泛關注，已有多家企業開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發與產業化，但絕大部分仍處于研發階段。我們研制的光刻膠具備了產業化的技術條件并具有與國外先進光刻膠產品競爭的產品性能。    半導體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結果，也在致力于這些光刻膠產品的產業化。 相關項目、專利及文章： 1.國家重大科技專項（02專項）子課題,課題編號:2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產酸劑及新型成膜樹脂的擴試技術研究） 2.國家自然科學基金應急管理項目，51641301, 含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應用，中國發明專利，專利號：9。

本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，通過其獲得具有穩定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進口進入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝冷卻液回路同時流經該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝冷卻液和浸液的熱交換，獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置采用內部回流結構與熱交換器

本發明公開了一種光刻機自動調焦方法及裝置，其方法是將平行光束經第一狹縫投射至硅片表面，再經振動反射鏡掃描后通過第二狹縫，由光電探測器接收光強信號，然后通過提取光強信號中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調量，通過提取光強信號中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調量，最后由驅動裝置調整硅片至焦點位置。調焦裝置主要由兩個狹縫、一個振動反射鏡、光電傳感器、驅動臺和若干光學鏡片組成，信號處理過程由計算機編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強度進行調焦的方式，具有結構簡單、響應迅速、精度高(優于 0.

產品詳細介紹

【產品特點】 ★ 彈性式穿刺，不刺破硬脊膜。不損傷血管、神經 ★ 不堵塞的管腔 ★ 抗斷裂 ★ 柔軟，消除病人置管后的“感覺異常” ★ 導管接頭易安裝且不易脫落 ★ 材料安全可靠，生物相容性、親和性高 ★ 特別適合長期留置人體 ★ X光下顯影，幫助醫生定位 ★ 透明視窗，便于觀察回血等 【國內獨家生產，品質堪比國外品牌，甚至超越】 1、記憶鋼特性。懸掛時整條管身筆直垂直于地面，好比有吊墜的墨線，而且對這種筆直形態有“記憶性”，無論怎樣被彎曲，都會竭盡全力恢復“筆直”狀態，臨床使用時，不易蜷曲、打結。同時能減少藥物通行阻力，并防止導管盤曲于病人身上，影響舒適度，也不易與病人衣物、頭發等纏繞，還可保證導管有效長度，方便各種體位的給藥和病人運轉。 2、管體可更柔細。管腔的內徑不變的情況下，外徑還可根據客戶需求，精密調節大小，甚至可遠遠小于其他品牌，適合不同人群，使病人“無置管感”，打造好的醫療服務質量。 3、量身定做。四種導管型號，多種視窗位置可選擇。可以按臨床要求量身定做 4、服務便捷、專業、周到。專業銷售隊伍，竭誠為您服務；生產廠家近在咫尺，可在短時間內實現改進。 一條小導管，匯聚大學問，無數大智慧，一顆中國心。 適用于： 1、所有硬脊膜外腔麻醉置管術。 2、實施剖宮產或無痛分娩的孕婦，靜脈易怒張者。 3、老人或兒童，血管脆弱者。 4、凝血功能有障礙，易出血者。 5、非首次硬膜外麻醉，硬膜外腔可能有疤痕、增生者。 6、先天椎管狹窄，置管有難度者。 7、需要長時間留置麻醉導管，比如癌痛或術后鎮痛者。 8、特殊要求：如擇時分娩、VIP病人或病情體位等原因，需要確保一次性置管成功以及滿足后續治療等。 

產品詳細介紹新型電池盒，最新設計，帶開關，教師用時可在鋼制黑板上使用，可任意形式串并聯，想怎么聯就怎么聯，是目前市場上最好最理想的電池盒，對培養學生的動手能力和實驗興趣都有很大的幫助。

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