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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現(xiàn)設(shè)計圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機(jī)、檢測機(jī)、測量機(jī)、修復(fù)機(jī)和貼膜機(jī)等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補(bǔ)償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團(tuán)隊已掌握掩膜版的關(guān)鍵測量技術(shù)，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機(jī)制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團(tuán)隊目前正在攻克該項技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補(bǔ)技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團(tuán)隊已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機(jī)制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團(tuán)隊具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運(yùn)營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計有豐富經(jīng)驗，掌握高等級防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺的設(shè)計施工，可達(dá)到VC-D級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點掩膜版設(shè)計開發(fā)能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗的隊伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

本發(fā)明公開了一種混合集成電控液晶光開關(guān)陣列，包括：被混合集成的電控液晶聚光微透鏡陣列和電控液晶散光微透鏡陣列，每單元液晶聚光微透鏡與每單元液晶散光微透鏡的光軸重合；在加電態(tài)下，聚光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號作用下實施光束的可調(diào)焦聚光操作，散光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號作用下實施光束的可控發(fā)散程度散光操作；在斷電態(tài)下，液晶聚光微透鏡與散光微透鏡被轉(zhuǎn)換為僅延遲光波相位的液晶相移板；液晶聚光微透鏡與散光微透

 本項目針對光伏發(fā)電分散式接入電網(wǎng)的模式，設(shè)計了對電網(wǎng)友好可控的帶儲能裝置的多端口變換器光儲一體能源系統(tǒng)。應(yīng)用環(huán)境有公共建筑、工業(yè)廠房和居民家庭等有公共電網(wǎng)的地方，或者無公共電網(wǎng)但有電力需求的地方如偏遠(yuǎn)山區(qū)、海島等，該光儲能源系統(tǒng)能夠經(jīng)過自我調(diào)節(jié)和控制與大電網(wǎng)互為支撐，向重要負(fù)載不間斷供電等功能。 本項目成功開發(fā)50Kw光儲一體能源系統(tǒng)，系統(tǒng)含有光伏端口、電池端口和交流端口，光伏組件通過Boost變換器接入直流母線；蓄電池通過雙向DC/DC變換器也接在直流母線上；變換器的交流端口可以接電網(wǎng)，也能為三相負(fù)載供電，逆變器采用三相四線制結(jié)構(gòu)，直流母線分裂電容的電壓均衡由均壓橋臂（S11，S12）平衡。本系統(tǒng)有三大特征：采用雙路光伏MPPT輸入，使安裝在不同方向的光伏陣列最大限度獲取太陽能；能量采用直流母線匯聚形式，降低了系統(tǒng)損耗和效率；負(fù)載接口分為重要負(fù)載和可控負(fù)載接口，確保系統(tǒng)維持對重要負(fù)載的供電，實現(xiàn)能量的平衡自治。 項目具有重大的科研價值，項目成功實現(xiàn)產(chǎn)品轉(zhuǎn)化，將應(yīng)用于海南某小區(qū)幾個單元的供電系統(tǒng)，實現(xiàn)能量自給自足、余電上網(wǎng)模式，開啟綠色環(huán)保、低碳節(jié)能的新用電方式。

成果簡介：在航空航天領(lǐng)域，光電儀器受溫度影響會產(chǎn)生像移，成像質(zhì)量會 變差，影響探測。本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計、結(jié)構(gòu)設(shè)計、有限元分析、光學(xué)表面自由曲面面型擬合結(jié)合起來，可以分析在恒溫和瞬態(tài)溫度變化的情況下，成像 質(zhì)量的變化，進(jìn)而給溫控提供準(zhǔn)確的技術(shù)方案和技術(shù)途徑。 項目來源：橫向項目 技術(shù)領(lǐng)域：信息技術(shù) 應(yīng)用范圍：航空航天光電探測領(lǐng)域 現(xiàn)狀特點：國內(nèi)領(lǐng)先 技術(shù)創(chuàng)新： 本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計、結(jié)構(gòu)設(shè)計、有限元分析、光

東南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院青年教師陳旭漫博士在國際頂級期刊《Angewandte Chemie（德國應(yīng)用化學(xué)）》上發(fā)表題為“Efficient Near-Infrared Emissive Artificial Supramolecular Light-Harvesting System for Imaging in Golgi Apparatus”的學(xué)術(shù)論文。 光捕獲過程作為將自然光進(jìn)行捕獲、能量轉(zhuǎn)化并利用的步驟，是植物光合作用中第一個也是十分重要的過程。構(gòu)筑人工光捕獲體系對于光能的利用具有重要意義，但目前構(gòu)筑具有高效人工光捕獲體系仍存在很大挑戰(zhàn)。 東南大學(xué)研究團(tuán)隊利用“杯芳烴誘導(dǎo)聚集”策略，設(shè)計合成兩親磺化杯芳烴和陽離子型萘基吡啶衍生物作為熒光給體在水溶液中自組裝，并引入尼羅藍(lán)作為熒光受體分子，成功構(gòu)筑了近紅外發(fā)射的超分子人工光捕獲體系。

120mm×80mm×110mm，紅、綠、藍(lán)三色光源亮度可調(diào)，學(xué)生可分組探究光的三原色合成。

335mm×200mm×95mm，光罩φ35mm×160mm，工作電壓DC6V/0.3A，內(nèi)外接電源均可，三色光可單獨或合并工作，可合成白光。

深圳市德普光業(yè)科技有限公司是一家集研究、生產(chǎn)、銷售為一體的科技創(chuàng)新型公司，目前公司已研發(fā)的產(chǎn)品包括但不限于4K實時同屏直播系統(tǒng)、實時音視頻編碼輸出系統(tǒng)、4K多媒體自動同步播放器、CastMore輕量級投屏軟件、CastFileCoder轉(zhuǎn)碼器等產(chǎn)品，為教育、辦公場景的音視頻底層處理、傳輸?shù)葢?yīng)用提供完整、成熟、可靠的解決方案。 根據(jù)廣大用戶的強(qiáng)列要求，公司還基于騰訊云研發(fā)了云直播及CastManager服務(wù)，能為廣大用戶提供高并發(fā)、無用戶數(shù)量限制云直播服務(wù)及無區(qū)域限制（限國內(nèi)）的產(chǎn)品級聯(lián)服務(wù)。 經(jīng)營范圍包括一般經(jīng)營項目是：計算機(jī)軟件、信息系統(tǒng)軟件的開發(fā)、銷售；信息系統(tǒng)設(shè)計、集成、運(yùn)行維護(hù)；信息技術(shù)咨詢；集成電路設(shè)計、研發(fā)；設(shè)計、制作、加工計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品； 辦公用品及耗材銷售；通訊網(wǎng)絡(luò)設(shè)備及線材銷售；多媒體電教設(shè)備研發(fā)及銷售；舞臺燈光音響工程、安防工程、 聲學(xué)裝飾工程設(shè)計安裝；建材五金、電器；塑膠制品、文具辦公用品、體育用品及器材、服飾、照相器材、 樂器、燈具、日用百貨、家具、美術(shù)用品、玩具及玩具器材的批發(fā)與銷售；電子商務(wù)平臺建設(shè)及運(yùn)營；攝影攝像、多媒體制作、圖文設(shè)計制作、上門維修服務(wù)；影視器材、計算機(jī)及通訊設(shè)備、辦公設(shè)備租賃；文化體育活動策劃；國內(nèi)貿(mào)易；經(jīng)營電子商務(wù)；貨物及技術(shù)的進(jìn)出口。許可經(jīng)營項目是：食品的銷售。