精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置,包括增壓泵;初級熱交換器,其浸液入口與增壓泵出口連通,浸液在其中進行熱交換,實現(xiàn)浸液溫度的初級調(diào)控;次級熱交換器,其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通,浸液在其中進行再次熱交換,實現(xiàn)浸液溫度的次級調(diào)控;流量伺服閥,其入口與初級熱交換器浸液出口連通,與次級熱交換器形成并聯(lián),用于調(diào)節(jié)進入次級熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量,并結(jié)合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié),可實現(xiàn)對浸液溫度的兩級調(diào)控,從而獲得溫
華中科技大學
2021-04-14