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量程：－80m/s2～80m/s2，分辨率0.4m/s2；可進行自由落體或超重失重實驗。

產品詳細介紹特點：傳感器：微機械電容、充氮阻尼、密封封裝內置溫度傳感器（用于輸出溫度補償）全量程線性標定DC/AC 加速度響應可提供非標量程定制服務傳感器已內置放大信號處理符合RoHS標準應用：地震監測 消費電子 機器人安全系統 沖撞測試 機械控制振動檢測 模態分析 振動分析儀器儀表 車輛動態性能測試參數：傳感器性能：（數據為8~32V供電，溫度輸出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 單位輸入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 g頻率響應（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3000 Hz靈敏度（差分輸出） 2000 800 400 160 80 40 20 mV/g輸出噪聲（差分模式，典型值） 12 14 15 38 75 150 300 μg/root HZ可承受最大沖擊（0.1ms） 2000 g傳感器性能：（除注明外，數據為8~32V供電，溫度輸出 25℃ ，差分模式得出）性能參數 最小值 典型值 最大值 單位橫軸靈敏度 2 3 %偏置標定誤差 -002   4 滿量程的% -005~-200   1.5 偏置溫漂TC=-55~125℃ -002 100 200 PPM%滿量程/℃ -005~-400 50 100 標定誤差比例因子 1 2 %溫漂比例因子TC=-55~125℃ -150     +150 Ppm/ ℃非線性（±90%滿量程） -002~-050 0.15 0.5 滿量程的% -100 0.25 1.00 -200 0.4 1.5 電源抑制比 65 DB輸出阻抗 1 歐姆供電電壓 8 32 V功耗 27 30 mA質量  21 克

已有樣品/n針對產業界對MEMS 代工的迫切需求，微電子所科研人員以高精度三軸加速度計開發為牽引展開攻關，致力于在現有8 英寸硅工藝線上實現與CMOS 工藝兼容的通用MEMS 加工平臺技術，成功開發出大深寬比MEMS 結構刻蝕、MEMS 與ASIC 晶圓堆疊、TSV 電學連接及晶圓級蓋帽鍵合封裝等關鍵工藝技術的量產，最終實現了TSV的ASIC 晶圓、MEMS 結構晶圓及蓋帽晶圓的三層鍵合工藝，并順利交付首款三軸加速度計產品。

一種微加速度振動裝置，包括外殼和安裝于外殼內的激振組件，激振組件由磁鋼、磁軛、動圈、動軸和復位彈簧組件組成，磁鋼和磁軛固定，動圈和動軸固定，動圈由動圈骨架和纏繞于動圈骨架上的線圈組成，磁鋼、磁軛、動圈和動軸同軸，磁鋼、磁軛、動圈和動軸依次從下向上布置；復位彈簧組件設置于動軸與外殼之間，復位彈簧組件具有提供使動軸向下的預緊力的第一復位彈簧和提供使動軸向上的預緊力的第二復位彈簧；外殼的頂部設有允許動軸頂面外露的通孔，動軸的外露面作為工作臺面；外殼通過吊裝彈簧懸掛于吊裝支架上。本實用新型具有能有效隔離外界振動，使激振組件不受外界干擾振動的影響，同時能夠提供微加速度震源的優點。

產品詳細介紹特點：傳感器：微機械電容、充氮阻尼、密封封裝低噪音：5μg/√HZ （2g 滿量程為例）內置溫度傳感器（用于輸出溫度補償）全量程線性標定DC/AC 加速度響應可提供非標量程定制服務傳感器已內置放大信號處理符合RoHS標準應用：地震監測 消費電子 機器人安全系統 沖撞測試 機械控制振動檢測 模態分析 振動分析儀器儀表 車輛動態性能測試參數：傳感器性能：（數據為5V供電，溫度輸出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 -400 單位輸入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 ±400 g頻率響應（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3500 0-4000 Hz靈敏度（差分輸出） 2000 800 400 160 80 40 20 10 mV/g輸出噪聲（差分模式，典型值） 5 7 10 25 50 100 200 400 μg/root HZ可承受最大沖擊（0.1ms） 2000 5000 g傳感器性能：（除注明外，數據為5V供電，溫度輸出 25℃ ，差分模式得出）性能參數 最小值 典型值 最大值 單位橫軸靈敏度 2 3 %偏置標定誤差 -002 2 4 滿量程的% -005~-200 1 2 偏置溫漂TC=-55~125℃ -002 100 300 PPM%滿量程/℃ -005~-200 50 200 標定誤差比例因子 1 2 %溫漂比例因子TC=-55~125℃ -250 250 Ppm/ ℃非線性（±90%滿量程） -002~-050 0.15 0.5 滿量程的% -100 0.25 1.0 -200 0.4 1.5 -400 0.7 2.0 電源抑制比 25 DB輸出阻抗 90 歐姆供電電壓 4.75 5.0 5.25 V功耗 8 10 mA質量（L型） 0.62 克

產品詳細介紹簡介：測量范圍：±2g ~ ±100g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ >11.5KHz 供電電源：5V輸出信號：±4V差分信號輸出/0.5~4.5V單端信號輸出工作溫度：-55~125℃    Colibrys 的MS8000加速度傳感器是廣泛的應用于慣性和傾斜/傾角領域的傳感器. 強大而低功耗的設計加上出色的零位穩定性保證了MS8000 MEMS加速度傳感器的很高的可靠性。Colibrys MS8000系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝制成的硅元件，一個低功耗ASIC 專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器等元件組成。    該產品是一個低功耗的，校準的，功能強大和性能穩定的產品。其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。該產品的零位長期穩定度和比例因子通常都小于全測量范圍的0.1 ％。對于±2g的MS8002.D型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時，典型的零位溫度系數為100μg /oC,比例因子溫度系數為100ppm/oC。 特征 優秀的零位穩定性 ±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測量范圍 惡劣環境（沖擊，振動，溫度） 低成本高指標 低功率模擬電壓輸出 防止掉電 LCC 48 集成溫度傳感器 應用 慣性傳感 用于航天航空IMU / AHRS 航空電子設備 無人機 陸地導航 定向鉆井（油和氣） 傾角感應 火車應用 交通運輸 穩定裝置 參數 所有數值特指在溫度20 °C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明  單位  MS8002.D  MS8010.D  MS8030.D  MS8100.D 全部測量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 100g 封裝  LCC 48  LCC 48  LCC 48  LCC 48 零位校準  mg  < 10  < 50  < 150  < 500 大于48小時的零位穩定性[1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 2.5 1年時間的零位穩定性[2]  mg typ. (max.)  1.5 (< 5)  7.5 (< 25)  22 (< 75)  75 (< 250) 開/關重復性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 7.5 零位溫度系數[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  1.5  5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 20 比例因子(輸出靈敏度)(K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  20 ± 1 一年期比例因子[2]  ppm typ. (max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數[3]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 5.5 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 1 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 200  0 to ≥ 200  0 to ≥ 100  0 to ≥ 200 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/?Hz typ.  11  11  11  11  max.  < 18  < 18  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11.5 [1]: 按IEEE 1293-1998 12.3.8標準：20°C條件下連續48h測量，測量前產品一小時穩定準備。[2]: 一年期穩定性是按 IEEE 528-2001標準: 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環境中,在 -40°C 到125°C 之間循環,在-55°C 和 85°C環境中，不帶電經受擾動，震動和沖擊。[3]: 溫度系數是定義在 –40°C 到 20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[4]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產品詳細介紹簡介：測量范圍：±2g ~ ±10g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 800Hz 供電電源：3V輸出信號：±2V差分信號輸出/0.5~2.5V單端信號輸出工作溫度：-40~125℃    Colibrys 的 MS7000 加速度傳感器是廣泛的應用于振動、慣性和傾斜/傾角領域的傳感器. 強大而低功耗的設計加上出色的零位穩定性與相對高的帶寬的結合保證了M7000 MEMS 加速度傳感器很高的穩定性。MS7000 系列是一個電容式 MEMS 加速度計，它是由一個立體微加工工藝制成的硅元件，一個低功耗 ASIC 專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器等元件組成。該產品是一個低功耗的，校準的，功能強大和性能穩定的產品。該產品的零位長期穩定度和比例因子通常都小于全測量范圍的0.1％。對于±2g 的 MS7002.3 型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時，典型的零位溫度系數為 100 μg /oC,比例因子溫度系數為100ppm/oC。 特征 具有良好的高帶寬零位穩定性 ± 2g, ±10g 全測量范圍 高沖擊 低成本高性能 低功率模擬電壓輸出 TO8包裝 應用 振動測量        數據記錄器                 HUMS                 結構監測 慣性測量        鉆井（石油和天然氣）                 民用航空 傾角測量        儀器儀表                 交通運輸參數 Specifications  所有數值特指在溫度20 °C (+86°F)和3伏工作電壓條件下，除非另外說明。  Units  MS7002.3  MS7010.3 全部測量范圍  g  ± 2g  ± 10g 封裝  TO8, 12 管腳  TO8, 12 管腳 零位校準  mg  < 10  < 50 1年時間的零位穩定性[1]  mg typ. (max.)  2 (< 5)  10 (< 25) 零位溫度系數[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  500 ± 4  100 ± 1 一年期比例因子穩定性[2]  ppm typ. (max.)  500 (< 1000)  500 (< 1000) 比例因子溫度系數[3]  ppm / °C typ.  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  % max  1  1 分辨率/閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  g max.  < 0.02  < 0.09 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 800  0 to ≥ 600 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/Hz typ.  7  7  max.  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7[1]: 一年期穩定性是按 IEEE 528-2001標準: 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環境中,在 -40°C 到125°C 之間循環,在-55°C 和 85°C環境中，不帶電經受擾動，震動和沖擊。[2]: 溫度系數是定義在–40°C到20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產品詳細介紹簡介：測量范圍：±2g ~ ±200g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 1.0 kHz @ 5%供電電源：5V輸出信號：±4V差分信號輸出/0.5~4.5V單端信號輸出工作溫度：-40~125℃特征 超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm) 振動傳感  ±2g 到 ±200g 全部測量范圍   大帶寬(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%) 優秀的長期穩定性 適應惡劣環境（沖擊，振動，溫度） 低功率模擬電壓輸出穩壓保護 配有溫度傳感器 應用直升機和飛機試驗航天結構/模態分析航天飛行和顫振試驗直升機健康與使用監控系統汽車測試和碰撞測試鐵路技術轉向架監測與診斷工業試驗介紹：    Colibrys VS9000 加速度計是一種新的超小型高端產品，致力于在振動傳感領域的應用。大帶寬，高耐用度和低功耗的設計以及優秀的零位穩定性，這種結合保證了 VS9000 MEMS 加速度傳感器卓越的可靠性。ColibrysVS9000 系列是一個電容式 MEMS 加速度計，它是由一個體硅微加工工藝制成的硅表頭元件，一個低功耗 ASIC 專用信號處理器和一個存儲補償值的微處理器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的，校準的，耐用的和性能穩定的產品。其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。這種可變電容傳感器可專門用來提供大的帶寬。對于± 100g,（VS9100.D），帶寬是從直流到 > 1.0 千赫@ 5％。此產品還得益于MS9000 系列的高穩定性，低噪音和低偏置和溫度系數比例因子。參數VS9000 side view0.8 所有數值特指在溫度20°C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明              Units VS9002.D  VS9010.D  VS9030.D  VS9050.D  VS9100.D  VS9200.D 全部測量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 200g 封裝  LCC20 (non magnetic, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 帶寬, (± 5 %) [3]  Hz  0 to > 250  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000 諧振頻率  kHz  1.3  2  4  5.1  7.2  11 噪聲譜密度  V/Hz typ.  25  25  25  25  25  25 [0;400 Hz]  Max.  27  27  27  27  27  27 零位校準  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1000 1年期的時間零位穩定性[1]  Mg typ. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  37.5 (<125)  75 (<250)  150 (<500) 開/關重復性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 15.0 零位溫度系數 [2]  mg/℃ typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 10.0  mg/℃max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 40 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  10 ± 1 一年期的比例因子穩定性 [1]  ppm typ. (max.)  300(<1000)  300(< 000)  300(< 000)  300(<1000)  300(<1000)  300(< 1000) 比例因子溫度系數 [2]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  100  100  min. / max. -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 11.0 非線性度 [4]  %ofFSmax < 0.8  < 1  < 1  < 1  < 1  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2 [1]: 一年期穩定性是按 IEEE 528-2001 標準：打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C 環境中，在 -40°C 到125°C 之間循環，在-55°C 和 85°C 環境中，不帶電經受擾動，震動和沖擊（在6000g 單次沖擊）。[2]: 溫度系數是定義在 –40°C 到 20°C 溫度范圍, 其中溫度變化是線性的。[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到.5%以下。[4]: 200g 非線性規格適用的最大量程是100g.

產品詳細介紹簡介測量范圍：±2g，±10g，±30g， ±100g非線性：< 0.8%FS頻響：1400~26000Hz供電電源：5V輸出信號：0.5 到4.5 VDC 之間， (在 0g時，為2.5 V ± 5mV)工作溫度：-55~125℃特點：超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm)±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測量范圍優秀的零位穩定性適應惡劣環境（沖擊，振動，溫度）達到MIL-STD-833-E 標準低功率模擬電壓輸出穩壓保護應用：用于航空航天IMU / AHRS       航空電子設備        無人機陸地及海洋導航                定向鉆井            地球物理火車應用     Colibrys 的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產品，適用于惡劣的使用環境和耐用度要求極高的應用領域。這種換代產品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g 到±250g廣泛的加速度測量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應用并且全使用壽命期間零位穩定保證在幾毫g以內。 　　Colibrys MS9000系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝制成的硅元件，一個低功耗ASIC 專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的，校準的，功能強大和性能穩定的產品。其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。 　　參數：   Units  MS9002.D MS9010.D  MS9030.D  MS9050.D  MS9100.D  MS9250.D 全部測量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 250g 封裝  LCC20 (無磁性, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 零位校準  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1250 大于48小時的零位穩定性 [1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 1.25  < 2.25  < 6.25 1年時間的零位穩定性[2]  mgtyp. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  38 (<125)  75 (<250)  188 (<625) 開/關重復性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 18.8 零位溫度系數[3]  mg/ ℃typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 12.5  mg/℃max.   ± 0.4 ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 50 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  8 ± 1 一年期比例因子 [2]  ppmtyp.(max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數 [3]  ppm/℃typ.  100  100  100  100  100  100  min./max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  Mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 12.5 非線性度   %ofFS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 0.9  < 1  < 1  gmax. < 0.02 < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2.5 帶寬[4]  Hz  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100 噪聲譜密度  V/Hztyp.  18  18  18  18  18  18 [0 ; 9kHz)  max.  24  24  24  24  24  24 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11  15  26 

產品詳細介紹簡介：測量范圍：±4g 頻響：0~ >1000Hz 供電電源：6~15V工作溫度：-40~85℃    Colibrys公司設計和開發SiFlexTM SF2005加速度計是用于地震等“劇烈震動”狀態的遙感應用。電容式的MENMS產品是最優秀的“數字檢波器”之一， 被廣泛地用于需要超低噪聲測量和低成本情況下的地震和振動傳感。具有：寬廣的動態范圍，優異的帶寬，低失真，高抗沖擊性，熱穩定性好等特性，使之非常適合于建筑物監測，工業及過程控制和結構監測等應用。作為傾角傳感器，它還為精密測量提供了高清晰的分辨率?！　F2005采用雙極工作電源，電壓為± 6V至± 15V，并且在± 6V時的典型電流消耗為12mA。全線性加速度的范圍是±4g, 相應的靈敏度為0.8V /g。SF2005S和SF2005SN可在從-40°C至+85°C的溫度范圍內工作?？沙惺芨哌_1500克沖擊后而不會降低性能。在整個量程范圍的頻率響應是從直流電到大于1000Hz　　特征　　極低的噪音水平：800 ngrms /√Hz　　寬廣的動態范圍 114 分貝（100Hz）　　頻率響應：從直流至 1000 赫茲范圍內　　± 4G 全部測量范圍　　模擬加速度傳感器　　自我測試輸入　　應用　　地震遙感　　結構/建筑物監測　　工業/過程監控　　強烈震動　　地球物理　　鐵路技術 單位 SF2005S.A / SF2005SN.A 線性輸出范圍  g 峰值  ±4 輸出范圍  g 峰值  ±4.5 靈敏度  V/g  0.8 (1.6) 頻率響應（全信號）  Hz  DC to >1000 動態范圍(100 Hz BW)  dB  114 噪音 (10 to 1000 Hz)  ngrms/√Hz  800 交叉軸抑制  dB  > 40 沖擊極限（0.5ms ?sine）  g 峰值  >1500 工作溫度范圍  ℃ -40 to +85 靈敏度溫度系數  ppm/℃ (re: ±1g)  200 直流偏移（最大值）  mg  ±300 熱偏移系數  g/℃ (re: ±1g)  ±300 線性誤差  % 全量程(re: ±1g)  ±0.1 輸入電壓  伏特DC  ±6 到±15 靜態電流（6VDC）  毫安（典型值）  11.6