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?  成果簡介：該技術(shù)適用于車輛發(fā)動機或發(fā)動機和變速箱的一體化匹配仿真、控制和標(biāo)定技術(shù)。成果可以分為三個部分：動力傳動一體化的匹配仿真技術(shù)，動力傳動一體化控制系統(tǒng)軟硬件技術(shù)，動力傳動一體化控制系統(tǒng)的參數(shù)標(biāo)定和試驗技術(shù)。可以進(jìn)行發(fā)動機和變速箱的系統(tǒng)的匹配、控制和標(biāo)定開發(fā)，也可以就單項技術(shù)進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)讓或合作開發(fā)。發(fā)動機的控制內(nèi)容包括：汽油機的點火、噴油和怠速空氣量的動態(tài)和穩(wěn)態(tài)協(xié)調(diào)控制，具有空燃比的閉環(huán)控制功能。變速箱的控制功能包括：換檔控制、液力變矩器閉鎖和滑轉(zhuǎn)率控制、變速箱液壓油路

一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)依托國家973項目“一體化可信網(wǎng)絡(luò)與普適服務(wù)體系基礎(chǔ)研究”，由北京交通大學(xué)張宏科教授為學(xué)術(shù)帶頭人的研究隊伍研制。該成果針對現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)移動性、安全性支持差等嚴(yán)重弊端，提出了一種全新的網(wǎng)絡(luò)體系架構(gòu)。該架構(gòu)將網(wǎng)絡(luò)劃分為“普適服務(wù)層”和“基礎(chǔ)設(shè)施層”, 提出并設(shè)計了“四種標(biāo)識”和“三種映射”，改進(jìn)了傳統(tǒng)互聯(lián)網(wǎng)在安全、移動、可擴展性及服務(wù)質(zhì)量方面的性能，取得了重大突破性進(jìn)展。 一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)于2009年12月通過科技成果鑒定，鑒定委員會認(rèn)為：“該項目在國際上首次設(shè)計并實現(xiàn)了完全自主知識產(chǎn)權(quán)的一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，創(chuàng)造性的提出了該系統(tǒng)的核心關(guān)鍵技術(shù)，在網(wǎng)絡(luò)體系架構(gòu)、標(biāo)識解析映射機制等方面有重大創(chuàng)新，具有國際先進(jìn)水平，有良好的推廣前景”。該系統(tǒng)自發(fā)明以來，已經(jīng)成功應(yīng)用到中興通訊股份有限公司、軍隊某部等多家單位。 該項目的主要創(chuàng)新點有： （1）針對現(xiàn)有互聯(lián)網(wǎng)體系、機制存在的不足，發(fā)明了以 “四種標(biāo)識”、“三次映射”為典型特征的一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)的兩層總體系架構(gòu)，綜合有效解決了新互聯(lián)網(wǎng)的體系與機理問題。 （2）針對現(xiàn)有互聯(lián)網(wǎng)身份與位置綁定的問題，發(fā)明了以“接入標(biāo)識”、“交換路由標(biāo)識”及其分離解析映射為核心，以“身份與位置分離”、“接入網(wǎng)與核心網(wǎng)分離”為典型特征的“基礎(chǔ)設(shè)施層（網(wǎng)通層）”關(guān)鍵技術(shù)與方法，大幅提高了網(wǎng)絡(luò)設(shè)施可擴展性、安全性和移動性。 （3）針對現(xiàn)有互聯(lián)網(wǎng)資源與位置綁定導(dǎo)致難以支持普適服務(wù)的問題，發(fā)明了以“服務(wù)標(biāo)識”、“連接標(biāo)識”及其分離解析映射為核心的“普適服務(wù)層（服務(wù)層）”關(guān)鍵技術(shù)與方法，實現(xiàn)了各種服務(wù)的統(tǒng)一命名與獲取，有效提升了服務(wù)遷移、服務(wù)可靠接入等普適服務(wù)支持能力。 該項目特色如下： 第一，本項目在國際上首次設(shè)計并實現(xiàn)了完全自主知識產(chǎn)權(quán)的一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)體系，滿足了國家對安全、可控可管的未來信息網(wǎng)絡(luò)的重大需求 針對國家對安全、可控可管的未來信息網(wǎng)絡(luò)的重大需求，本項目在國際上首次設(shè)計了并實現(xiàn)了完全自主知識產(chǎn)權(quán)的包含“兩層模型”、“四種標(biāo)識”和“三種映射”的一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，改進(jìn)了互聯(lián)網(wǎng)的網(wǎng)絡(luò)設(shè)施安全性、移動性、路由表可擴展性，提升了服務(wù)遷移、服務(wù)可靠接入、普適服務(wù)等能力。 第二、解決了國家對移動互聯(lián)網(wǎng)的重大需求 在一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)中，代表主機在網(wǎng)絡(luò)中的身份與位置分別用主機的身份標(biāo)識與位置標(biāo)識標(biāo)識，而上層連接綁定到身份標(biāo)識上。這樣，不管主機移動到什么地方，上層的連接不會發(fā)生中斷，從而能夠有效支持節(jié)點的移動性。 第三、解決了國家對業(yè)務(wù)智能化的重大需求 由于現(xiàn)有的各種網(wǎng)絡(luò)有各種各樣的問題和缺點，無法滿足普適服務(wù)對于網(wǎng)絡(luò)QoS、移動性、可靠性、安全性等方面的要求。而一體化網(wǎng)絡(luò)由于實現(xiàn)了大量的革新，可以提供更好的QoS、移動性、可靠性、安全性保證，為普適服務(wù)的實現(xiàn)提供了最理想的基礎(chǔ)網(wǎng)絡(luò)，使普適服務(wù)環(huán)境的理論和技術(shù)優(yōu)勢能夠得以充分發(fā)揮。  一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)原型系統(tǒng)    一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)原型系統(tǒng)拓?fù)涫疽鈭D   應(yīng)用范圍： 本項目的成果可以應(yīng)用到公共通信網(wǎng)、各種專用通信網(wǎng)的建設(shè)中。   市場前景： 2008年，北京交通大學(xué)基于一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵技術(shù)，研制出原型系統(tǒng)，并在北京信息科技大學(xué)等單位試用，為一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)的完善提供了必要的依據(jù)；2009年12月，一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)通過教育部組織的科技成果鑒定，為新網(wǎng)絡(luò)的推廣與應(yīng)用奠定了良好的基礎(chǔ)；經(jīng)過兩年多的努力，一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及相關(guān)產(chǎn)品已應(yīng)用到中電集團電子科學(xué)研究院、中國人民解放軍某部等多家科研院所和國防單位，為我國的前瞻性科學(xué)研究和國防建設(shè)等做出了重要貢獻(xiàn)。需要說明的是，現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施主要還是傳統(tǒng)互聯(lián)網(wǎng)和電信網(wǎng)，因此，一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)還只是應(yīng)用于部分接入網(wǎng)絡(luò)及專網(wǎng)中。而由于傳統(tǒng)信息網(wǎng)絡(luò)存在的嚴(yán)重弊端，目前國際上對未來信息網(wǎng)絡(luò)的研究如火如荼。可以預(yù)見，隨著信息網(wǎng)絡(luò)及信息化的發(fā)展，做為未來信息網(wǎng)絡(luò)典型代表的一體化標(biāo)識網(wǎng)絡(luò)，必將在更廣闊的范圍內(nèi)得到推廣和應(yīng)用，對未來信息網(wǎng)絡(luò)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展也會產(chǎn)生重大影響，帶來巨大的社會和經(jīng)濟效益。   預(yù)期效果： 在技術(shù)上，目前，在國內(nèi)外尚未見到完整的新一代互聯(lián)網(wǎng)關(guān)鍵技術(shù)及系統(tǒng)問世，只有少數(shù)項目如LISP提出的方案與該項目的部分思想類似。該項目在新一代互聯(lián)網(wǎng)關(guān)鍵技術(shù)及系統(tǒng)研制方面具有較大的優(yōu)勢。 在經(jīng)濟指標(biāo)方面，隨著互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展和各種新業(yè)務(wù)的不斷出現(xiàn)，本項目也必將產(chǎn)生重大的經(jīng)濟和社會效益。 部分產(chǎn)品簡介：    一、IPv6路由器 北京交通大學(xué)于2000年研制成功具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國內(nèi)首臺IPv6路由器（如下圖），2002年通過科技成果鑒定，2006年通過國際IPv6 Ready認(rèn)證（ID：01－000335）和信息產(chǎn)業(yè)部傳輸所的協(xié)議一致性測試。目前，該產(chǎn)品已成功應(yīng)用在國內(nèi)多所科研院所的IPv6試驗網(wǎng)中。                                                  IPv6路由器   二、IPv6無線/移動路由器 北京交通大學(xué)于2004年研制出國內(nèi)外首臺IPv6無線/移動路由器（如下圖）。該成果實現(xiàn)了移動IPv6技術(shù)、移動子網(wǎng)技術(shù)等，并于2004年8月通過了教育部組織的科技成果鑒定，與會專家一致認(rèn)為該成果“填補國內(nèi)空白，達(dá)到國際先進(jìn)水平”。2006年，該成果通過國際“IPv6 Ready”認(rèn)證（ID：01-000335）和歐盟ETSI的“PLUGTESTS”認(rèn)證。 該成果2005年6月獲得國家科技部、商務(wù)部等四部委頒發(fā)的“國家重點新產(chǎn)品證書”；榮獲2005年度北京市科學(xué)技術(shù)一等獎。     三、IPv6微型傳感路由器 2005年，北京交通大學(xué)研制出國內(nèi)外首臺IPv6微型傳感路由器（如圖），同年12月通過科技成果鑒定。2006年，該產(chǎn)品獲得國家重點新產(chǎn)品證書并遠(yuǎn)銷海外多個研究機構(gòu)和單位，并榮獲2008年度中國電子學(xué)會信息科學(xué)技術(shù)獎二等獎，該產(chǎn)品融合了傳統(tǒng)傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)和傳統(tǒng)IPv6路由器技術(shù)，應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，適用于醫(yī)療衛(wèi)生、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)控、軍事等領(lǐng)域。   四、IPv6網(wǎng)絡(luò)安全防護(hù)系統(tǒng)和IPv6網(wǎng)絡(luò)性能分析系統(tǒng) 北京交通大學(xué)在IPv6網(wǎng)絡(luò)的安全、可控和可管方面也進(jìn)行了長期的理論探索，建立了IPv6網(wǎng)絡(luò)安全、控制和管理方面的新機理與機制，并以此為理論支撐，研制出一系列具有國際先進(jìn)水平的網(wǎng)絡(luò)安全設(shè)備IPv6網(wǎng)絡(luò)安全防護(hù)系統(tǒng)和IPv6網(wǎng)絡(luò)性能分析系統(tǒng)（2005年通過科技成果鑒定，如圖）。

該技術(shù)適用于車輛發(fā)動機或發(fā)動機和變速箱的一體化匹配仿真、控制和標(biāo)定技術(shù)。成果可以分為三個部分:動力傳動一體化的匹配仿真技術(shù)，動力傳動一體化控制系統(tǒng)軟硬件技術(shù)，動力傳動一體化控制系統(tǒng)的參數(shù)標(biāo)定和試驗技術(shù)。可以進(jìn)行發(fā)動機和變速箱的系統(tǒng)的匹配、控制和標(biāo)定開發(fā)，也可以就單項技術(shù)進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)讓或合作開發(fā)。 發(fā)動機的控制內(nèi)容包括:汽油機的點火、噴油和怠速空氣量的動態(tài)和穩(wěn)態(tài)協(xié)調(diào)控制，具有空燃比的閉環(huán)控制功能。 變速箱的控制功能包括:換檔控制、液力變矩器閉鎖和滑轉(zhuǎn)率控制、變速箱液壓油路主油壓控制。 一體化控制功能包括:基于總線的數(shù)據(jù)共享、換擋品質(zhì)控制（包括換檔過程發(fā)動機降扭矩、變速箱主油壓、液力變矩器解鎖等）、汽車動態(tài)過程發(fā)動機噴油量和扭矩控制、車輛行駛安全控制等。 改裝后的轎車操作簡便，可以自動地在各擋位間切換，換擋過程平穩(wěn)，車輛起步、加速性能良好。樣車的等速油耗和ECE工況油耗測試結(jié)果:60km/h等速油耗為5.82L/100km，ECE循環(huán)油耗9.75L/100km。

本實用新型涉及一體化口腔醫(yī)用結(jié)扎絲，包括結(jié)扎絲;所述結(jié)扎絲前端設(shè)置有鉤狀彎曲部，所述彎 曲部前端為針頭狀。本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，一端縫合針的設(shè)計有助于結(jié)扎絲穿過牙間隙，簡化了操 作步驟，醫(yī)務(wù)人員能及時實施固定，保護(hù)患者唇頰粘膜和齦乳頭，且固定牢固，節(jié)約了臨床時間，提高 勞動效率。

傳統(tǒng)的各類雙目體式顯微鏡在使用上存在明顯的缺點和迫切需要解決的問題：1. 無論是顯微解剖教學(xué)、醫(yī)學(xué)檢驗、還是工業(yè)生產(chǎn)線檢驗都存在時間長，勞動強度高的特點，而由于鏡筒高度高，使得操作人雙目聚焦時間長且頸部僵硬2. 因為使用者視力情況不同，即使在同一倍數(shù)條件下，所觀察到的視野也會存在一定的差異，

本項目在提出了一種利用水相及油相介質(zhì)之間表面張力的選擇性通過結(jié)構(gòu)（可稱為“介質(zhì)閥”）的同時，將這種介質(zhì)閥結(jié)構(gòu)集成于微流控芯片，配合磁珠實現(xiàn)了對核酸純化的目的。同時，本研究基于介質(zhì)閥結(jié)構(gòu)及LAMP擴增技術(shù)完成了一套完整的微流控芯片及自動化檢測-擴增裝置。

一種超支化聚三唑功能化的石墨烯及其制備方法，其中，該超支化聚三唑功能化的石墨烯是將芳香基團修飾的超支化聚三唑修飾到石墨烯表面形成的；所述芳香基團修飾的超支化聚三唑是在超支化聚三唑末端接枝上芳香基團形成的。

本發(fā)明公開了一種超支化聚三唑功能化的石墨烯及其制備方法， 其中，該超支化聚三唑功能化的石墨烯是將芳香基團修飾的超支化聚 三唑修飾到石墨烯表面形成的；所述芳香基團修飾的超支化聚三唑是 在超支化聚三唑末端接枝上芳香基團形成的。本發(fā)明通過點擊化學(xué)反 應(yīng)制備出末端接枝上芳香基團的超支化聚三唑，然后將其以非共價鍵 法修飾到石墨烯的表面，使超支化聚三唑功能化的石墨烯具有良好的 分散性和反應(yīng)能力；所得石墨烯具有良好的分散性和反應(yīng)能

簡單介紹： ZL-620A一體化信息化信號采集處理系統(tǒng)采用一體化設(shè)計原則，同時集成了可移動實驗平臺、醫(yī)學(xué)信號采集系統(tǒng)、呼吸系統(tǒng)、測溫系統(tǒng)、照明系統(tǒng)以及同步演示系統(tǒng)。幫助科研工作者獲取更客觀、的實驗數(shù)據(jù)，是研究人員、老師和學(xué)生可以通過該一體信息化信號采集處理系統(tǒng)觀察到各種生物機體內(nèi)或離體器官中探測到的生物電信號以及張力、壓力、溫度等生物非電信號的波形，從而對生物肌體在不同的生理或藥理實驗條件下所發(fā)生的機能變化加以記錄與分析。 詳情介紹： 一.硬件技術(shù)指標(biāo)：1.1.設(shè)備集成平臺外形尺寸:650mm（L）*780mm(w)*2100mm(H) 誤差≤10mm，長寬高1.2.實驗操作平臺外形尺寸：1400mm（L）*740mm(w)*750mm(H) 誤差≤10mm，長寬高1.3.具有分項設(shè)備與節(jié)能獨立控制模塊，一鍵式操作。1.4.輸液架離臺面高度：≤1200mm，輸液架移動范圍：兩側(cè)≤660mm；1.5.實驗臺面材質(zhì)：ABS工程塑料；1.6.實驗臺面下屏蔽層：紫銅網(wǎng)，可與外部接地端相連接，尺寸：1400mm×720mm×0.3mm（長*寬*高）；1.7.分體式操作平臺及移動滾輪：分別帶4個自鎖式萬向移動滾輪，平臺可分別獨立移動；1.8.內(nèi)置呼吸機潮氣量： 15~90ml，呼吸比：1:9-9:1，81種呼吸比，6KPa過壓保護(hù)；1.9.呼吸機控制模式：5寸觸摸液晶屏與軟件控制，氣道壓力波形顯示范圍：7Kpa； 1.10.音響系統(tǒng)：頻響范圍100Hz-20KHz,理論功率RMS2W；1.11.實驗照明系統(tǒng)：分組開關(guān)4×12W，自然光LED燈，1.12.外部接口：3個USB接口，1個網(wǎng)線接口，6個220V電源插口，HDMI接口；1.13.攝像系統(tǒng):品牌4K攝像機光學(xué)防抖，1920x1080分辨率，WIFI功能，觸屏操作等。1.14.電腦系統(tǒng)： Wifi+藍(lán)牙酷睿，Win11 i5-11400 ，16G ，256G+1T ，23英寸二.軟件技術(shù)指標(biāo)2.1.通道數(shù)：4個通道2.2.所有通道均為多功能全程控隔離型放大器。每一通道的放大器均可作生物電放大器、血壓放大器、橋式放大器使用，還可作肺量計、溫度計等。且每個通道擁有獨立的硬件模塊。2.3.采用高精度16位A/D轉(zhuǎn)換芯片，單通道硬件*高采樣率1000KHz，。硬件*低采樣率0.01Hz。四通道連續(xù)采樣時*高采樣頻率200kHz ，且實時采樣的過程中可以根據(jù)需要來改變采樣率。2.4.放大器輸入電阻≥１００MΩ（雙端輸入）及5０MΩ（單端輸入）、共模抑制比≥100dB、噪音≤±1μＶ6.交、直流具有相同的增益：量程500mv、200mv、100mv、50mv、20mv、10mv、5mv、2mv、1mv、500uV、200uV、100uV、50uV、20uV、10uV檔可調(diào)；可直接輸入10V電信號而放大器不飽和。2.5.低通濾波（硬件）：0.3 Hz、 3 Hz 、10Hz、30Hz、100Hz、500Hz、1kHz、3kHz、10 kHz、OFF（20kHz）。具有5階以上的濾波方式。2.6.時間常數(shù)（硬件）：0.001s、0.002s、0.02s、0.2s、1s、5s、DC。2.7.光電隔離程控刺激器：具備單刺激、串單刺激、連續(xù)單刺激、雙刺激、串雙刺激、連續(xù)雙刺激、定時刺激、強度遞增刺激、頻率遞增刺激、波寬遞增刺激、強間隔遞增刺激、自動串雙刺激等刺激模式。*大負(fù)載電流：10 mA、具備正電流、負(fù)電流輸出方式，具有恒流刺激、恒壓刺激輸出兩種方式，內(nèi)置刺激器幅度：100V，步長：1mV，波寬：2000ms，步長：0.01ms；2.8.實時采樣的過程中可以根據(jù)需要來改變采樣率。2.9.硬件系統(tǒng)包含ECG全導(dǎo)聯(lián)導(dǎo)聯(lián)卡，導(dǎo)聯(lián)切換方式可程控。2.10、可批量將心電數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為圖片上傳到U盤或SD卡（支持可擴展64G SD卡，可儲存20萬心電圖信息）存儲，供電腦查看直接連接打印機打印 、熱點陣打印系統(tǒng)，記錄紙規(guī)格80mmx20m，卷紙 、走紙速度：6.25mm/s、12.5mm/s、25mm/s、50mm/s（±3％） 2.11.單臺設(shè)備之間可以任何組合并構(gòu)成新的8~16通道記錄儀，并擁有獨立的8通道和16通道軟件。2.12.軟件集成專用藥理分析工具箱，集成多種藥理分析工具：PA2的計算， 使用Bliss法完成的LD50計算，t檢驗計算.回歸分析等。具備心電自動統(tǒng)計分析功能。具備心率變異性（HRV）分析功能。具備心肌細(xì)胞動作電位、LTP、腦電、細(xì)胞及神經(jīng)放電的專用測量分析功能。具備心電、血壓、心室內(nèi)壓、脈搏、呼吸等動態(tài)自動測量功能。2.13.具有二維和三維頻譜分析功能，可開展胃腸電的研究工作；2.14.文件恢復(fù)功能：可將文件恢復(fù)，實驗數(shù)據(jù)可自定義備份時間，需要時可恢復(fù)未保存或文件損壞的實驗數(shù)據(jù)2.15.管理系統(tǒng)：實時顯示在線或離線狀態(tài)，支持任意時間添加或刪除設(shè)備以及使用次數(shù)等。三.配置清單：3.1.設(shè)備集成平臺一臺3.2.實驗操作平臺一臺3.3.醫(yī)學(xué)信號采集處理系統(tǒng)一臺3.4.生物信號采集與分析系統(tǒng)軟件一套3.5.管理系統(tǒng)一套3.6.集成化小動物生命維持系統(tǒng)一臺3.7.集成式動物肛溫檢測系統(tǒng)一套3.8.實時攝像系統(tǒng)一臺3.9.手術(shù)照明系統(tǒng)一套3.10.輸液架一個3.11.電腦一臺3.12.動物附件包：張力換能器，血壓換能器，呼吸流量換能器，生物電信號線2根，刺激線一根心電線一根3.13.鼠兔實驗臺一臺3.14. 20件機能附件包（雙線電極，一個保護(hù)電極，一個懸浮電極，一個神經(jīng)引導(dǎo)電極，一個鋅 銅 弓，一個兔氣管插管，一個鼠氣管插管一個，8個蛙釘，2個蛙心夾，血壓夾持器一個，兔動靜脈插管一個，鼠動靜脈插管，一個大小動脈夾各1個，蛙心插管一根，玻璃分針2個，雙凹夾一個，三通一個，木制蛙板，一根萬向支架，一個探針一根） 3.15. 產(chǎn)品合格證   1個 3.16. 服務(wù)承諾        1份

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。