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用于單晶生長裝置的結晶區溫度梯度調節器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
結晶溫度梯度調節器
所屬領域:
項目成果/簡介:
一種用于單晶生長裝置的結晶區溫度梯度調節器,由保溫隔熱材料制作的座板和保溫隔熱材料制作的動板組成;座板上設置有一底部為平面的凹槽,凹槽的中心部位開設有大于坩堝套外徑的通孔I,凹槽的環面上開設有調溫孔I;動板的形狀和徑向尺寸與座板上設置的凹槽相匹配,動板中心部位開設有與通孔I尺寸相同的通孔II,動板環面上開設有調溫孔II,調溫孔II與調溫孔I形狀、尺寸、數量、間距相同;動板放置在座板所設置的凹槽中,其與凹槽為動配合,座板固定在坩堝下降法單晶生長裝置爐體上。此種調節器結構簡單,使用方便,調節單晶生長爐結晶區溫度梯度時靈敏度高,使結晶區溫度梯度可在大范圍內調整,易于獲得窄溫區、大溫梯的溫場分布。
項目階段:
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