超快掃描電子顯微鏡

電子信息

在超高時空尺度對半導體材料的載流子動力學進行測量對新型低維半導材料和納米光電器件開發具有重要的科學意義和實際應用價值。針對傳統測量手段如超快光譜技術等在空間分辨率上的限制，本項目研制了一種基于場發射掃描電子顯微鏡的超快掃描電子顯微鏡系統，實現在納米與飛秒超高時空分辨尺度下對半導體材料局域載流子動力學信息進行可視化測量和定量分析。該系統是測量半導體材料光生載流子動力學的前沿高端儀器設備。

超快掃描電鏡設備的原理

應用案例：半導體表面光生載流子的測試應用

應用領域主要為半導體材料檢測、光電材料檢測、光伏與光電器件檢測等；

用戶主要為半導體材料與光電器件生產企業、高校與科研院所等。

目前國際上尚無公司能提供該類型的全套設備產品。我們研發的設備在時空分辨性能上比國際現有報道的類似設備都要高，且所有核心技術自主可控。我們是目前國內唯一能提供該設備和技術的研究團隊。