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激光3D打印納米鐵電疇突破光電芯片新賽道

2024-12-10 13:34:51
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所屬領(lǐng)域:
新一代信息技術(shù)
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

1. 痛點(diǎn)問(wèn)題

鈮酸鋰得益于其優(yōu)越的透射譜范圍、非線性光學(xué)系數(shù)、電光和壓電性能,是下一代5G/6G通訊和光子芯片的重要載體。特別的是,在鈮酸鋰晶體中制備鐵電疇結(jié)構(gòu),在非線性光學(xué)、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲(chǔ)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。要進(jìn)一步提升鈮酸鋰鐵電疇器件的性能,亟需在三維空間實(shí)現(xiàn)納米精度的鐵電疇結(jié)構(gòu)可控制備。然而,受限于傳統(tǒng)加工技術(shù),該問(wèn)題一直是困擾研究人員的巨大挑戰(zhàn)。

2. 解決方案

南京大學(xué)的研究團(tuán)隊(duì)發(fā)展了一種新型非互易激光極化鐵電疇技術(shù),將飛秒脈沖激光聚焦于鈮酸鋰晶體內(nèi)部進(jìn)行直寫(xiě),得到了納米線寬的三維鐵電疇結(jié)構(gòu)。在直寫(xiě)過(guò)程中,鈮酸鋰晶體在高強(qiáng)度激光作用下發(fā)生多光子吸收,導(dǎo)致局部晶體溫度升高,既使得鈮酸鋰晶體的局域矯頑場(chǎng)降低,又在晶體內(nèi)部形成了一個(gè)有效電場(chǎng)。在二者共同作用下,晶體內(nèi)部形成一個(gè)有效區(qū)域,可以實(shí)現(xiàn)鐵電疇極化反轉(zhuǎn)。同時(shí),有效電場(chǎng)方向的分布特性決定了激光直寫(xiě)鐵電疇具有非互易特性,即沿不同方向直寫(xiě)可以實(shí)現(xiàn)不同線寬的鐵電疇極化以及反極化。研究人員利用這一特性設(shè)計(jì)了不同的加工工藝,在三維空間上均實(shí)現(xiàn)了突破衍射極限的鐵電疇線寬控制,實(shí)驗(yàn)中成功制備出線寬為100 nm ~ 400 nm的條形鐵電疇和尖端寬度為30 nm的楔形鐵電疇。同時(shí),還演示了鐵電疇結(jié)構(gòu)從一維向二維和三維的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換,并實(shí)現(xiàn)了高效非線性光束整形。此外,該加工方法得到的鐵電疇具有良好的穩(wěn)定性,經(jīng)過(guò)兩年的時(shí)效處理或者300℃高溫處理后依然穩(wěn)定存在。

3. 競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)分析

這一新技術(shù),突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸,從傳統(tǒng)的 1 微米量級(jí),首次縮小到納米級(jí),達(dá)到 30 納米,大大提高了加工精度。

效益分析:

這一工作將飛秒激光極化技術(shù)與鈮酸鋰鐵電疇工程有機(jī)結(jié)合,突破了傳統(tǒng)技術(shù)的壁壘,首次在三維空間實(shí)現(xiàn)了納米鐵電疇可控制備。這一重大發(fā)明,未來(lái)或可開(kāi)辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調(diào)制器、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲(chǔ)器等關(guān)鍵光電器件芯片制備,在 5G / 6G 通訊、光計(jì)算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。

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