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基于柔性鐵電薄膜的流體驅動式壓電傳感器及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
柔性鐵電薄膜的
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于柔性鐵電薄膜的流體驅動式壓電傳感器及其制備方法，包括玻璃基片和微流
控芯片基片；玻璃基片上集成有兩相平行的 P(VDF-TrFE)電紡絲薄膜條；微流控芯片基片制作有微溝道
和分布于微溝道兩側的電極凹槽；微流控芯片基片還設有進樣口、出樣口和銀漿注入口，進樣口、出樣
口與微溝道兩端連通，銀漿注入口與電極凹槽連通；玻璃基片和微流控芯片基片鍵合，?P(VDF-TrFE)
電紡絲薄膜條位于微溝道和電極凹槽底部。本發明制作簡單，成本低廉
項目階段:
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