一種熱絲拉緊裝置，屬于機(jī)械滑動(dòng)部件與裝置，用于有效地防 止熱絲因加熱而產(chǎn)生的伸長(zhǎng)下垂。本發(fā)明包括盒體、滑軌，滑動(dòng)板、支撐板、上端蓋、左端蓋、中間連接板、左端連接板、鉬棒螺桿，滑 軌、滑動(dòng)板以及固定在滑動(dòng)板上方的支撐板共同構(gòu)成了滑動(dòng)系統(tǒng)；使 用時(shí)，所述左端蓋通過(guò)螺栓與熱絲沉積系統(tǒng)的腔體外壁連接，左端蓋 的左側(cè)面朝向熱絲沉積系統(tǒng)內(nèi)腔。本發(fā)明利用簡(jiǎn)單的彈簧、滑道等機(jī) 械部件以及銅片的溫度特性，簡(jiǎn)單有效的實(shí)現(xiàn)了 HFCVD 系統(tǒng)中熱絲 在加熱過(guò)程中自動(dòng)拉緊的目的，不僅保證襯底材料附近溫度場(chǎng)的穩(wěn)定， 而且提高