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制造電化學晶體管的方法

2021-04-14 00:00:00
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

本發明公開了利用并列噴嘴噴印制造柔性電化學晶體管的方法, 包括以下步驟:1)注入溶液;2)沉積網格狀纖維結構;3)網格狀纖維結 構自組裝。本發明工藝簡單,采用并列靜電紡絲工藝,一步制得微納 纖維,并且通過平臺運動控制可直接實現陣列化纖維的制造;工序簡 單,借助于表面張力驅動的自組裝工藝可大面積穩定可靠實現 WECT 源極、漏極與柵極的連接;其成本低,效率高,靜電紡絲以及自組裝 工藝極大縮減了制造時間與材料用量;材料兼容性好,制造過程均未 涉及高溫工藝,有機、柔性材料均可得到極大的運用。 <

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