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一種基于投影莫爾原理的 BGA 共面度測量系統

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.gxf2npi.xyz
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

本發明公開了一種基于投影莫爾原理的共面度測量系統,包括冷光源(1),準直透鏡(3),CCD 攝像機(2,4),LCD 面板(5),投影透鏡(6),光學平臺(7),高精度移動臺(8)和計算機(9)。所述 LCD 面板(5)上顯示通過所述計算機(9)產生的條紋圖案,所述冷光源(1)發出的光經所述準直透鏡(3)后照射到所述 LCD 面板(5)上,將顯示在所述 LCD 面板(5)上的條紋圖案投影到被裝載在高精度移動臺(8)上的參考平面或者待測物表面上,所述 CCD 攝像機為兩個,對稱設置于 LCD 面板(5

項目階段:
未應用
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