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一種用于光學散射測量的基于擬合誤差插值的庫匹配方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
庫匹配方法
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種用于光學散射測量的基于擬合誤差插值的庫匹配方法，包括：確定樣品待測結構參數的變化范圍并對其執行離散化處理，將所獲得的離散網格點及其對應理論光譜值儲存到光譜庫中；獲得待測樣品的測量光譜并計算出離散網格點對應的測量光譜值與理論光譜值之間的擬合誤差，然后將其同樣儲存到光譜庫中；為擬合誤差設定閾值并執行粗搜索，利用搜索出的擬合誤差所對應的離散網格點來構建候選參數集，并對擬合誤差執行多維插值處理獲得相應的擬合誤差插值函數；基于擬合誤差插值函數細搜索找出全局最優點，其所對應的參數值即為最終確定的
項目階段:
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