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一種具有納米異質復合結構的紫外光探測器及其制備方法

2021-04-14 00:00:00
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

本發明公開了一種基于 TiO<sub>2</sub>/ZnO 納米異質復合結構的紫外光探測器結構,其最底層為基底材料,其上為叉指電極,并覆蓋一層 ZnO 薄膜,薄膜之上為 ZnO 納米棒,納米棒表面為TiO<sub>2</sub>納米結構。本發明還公開了所述紫外光探測器的制備方法:(1)在基底薄片上鍍上金屬電極形成叉指電極;(2)鍍上 ZnO薄膜;(3)合成 ZnO 納米棒陣列;(5)在 ZnO 納米棒表面形成

TiO<sub>

項目階段:
未應用
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