一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法

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本發(fā)明公開了一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法，本發(fā)明

利用激光束離焦后功率密度梯度變小光斑變大的原理以及高速振鏡掃

描誤差精確矯正方法，通過設(shè)置不同的在焦和離焦激光加工距離及對

應(yīng)功率參數(shù)和激光振鏡掃描參數(shù)來控制激光光斑大小，對圖形填充區(qū)

采用離焦后的大光斑光柵掃描填充，然后對圖形輪廓進(jìn)行矢量掃描勾

勒。本發(fā)明針對不同的工作距離預(yù)先進(jìn)行振鏡掃描誤差矯正，生成高

精度振鏡掃描定位表，確保在不同激光加工距離獲得同等高精

未應(yīng)用