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一種激光誘導液滴靶放電產生等離子體的裝置
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提出一種激光誘導液滴錫靶放電產生等離子體極紫外光
源的裝置，包括儲錫池、旋轉圓盤、錫液、溫度控制器、阻攔屏、旋
轉圓面屏、電極對和激光器等。該裝置通過將旋轉圓盤部分浸入液態
錫中，利用了高速圓周離心力作用產生逃逸的液態錫，阻攔屏和旋轉
圓面屏的阻擋和選通作用，產生周期性的錫液滴，通過電極對，在激
光的作用下產生極紫外光。本裝置通過讓激光作用在的錫液滴而非作
用在電極上的液態錫膜上，解決了傳統旋轉放電圓盤電極液體
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