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鎂基金屬玻璃薄膜及其制備方法和應(yīng)用
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.gxf2npi.xyz
關(guān)鍵詞：
玻璃薄膜
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種鎂基金屬玻璃薄膜及其制備方法，它的化學(xué)
通式為 MgaCubYc，其中，a，b，c 為原子百分比，46.30≤a≤58.01，
24.61≤b≤28.96，13.18≤c≤24.74，且 a+b+c=100。本發(fā)明還公開了
一種鎂基金屬玻璃薄膜的制備方法，其采用磁控濺射制備得到，包括：
將 Mg、Cu 和 Y 按一定配比制備成合金靶；使用單晶硅片及普通玻璃
片作為薄膜的基底；將合金靶及薄膜基底放入濺射腔中，進(jìn)行磁控
項(xiàng)目階段:
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