為滿足武器裝備領(lǐng)域精確制導(dǎo)、夜視槍瞄及單兵頭盔系統(tǒng)等國防重點(diǎn)工程對非制冷紅外焦平面陣列器件的急需，以打破國外壟斷和封鎖為目標(biāo)，提出了以納米氧化釩多層復(fù)合薄膜為敏感材料的單片集成微光腔低應(yīng)力焦平面結(jié)構(gòu)；突破了在高TCR下氧化釩薄膜的工藝兼容性、片內(nèi)均勻性和片間重復(fù)性技術(shù)難題與低熱導(dǎo)、小尺寸的微橋結(jié)構(gòu)產(chǎn)生形變的瓶頸；實(shí)現(xiàn)了低噪聲運(yùn)算放大器，有效降低了器件的NETD和提高器件占空比的讀出電路設(shè)計(jì)技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了我國UIRFPA探測器的"從無到有、從設(shè)計(jì)制造到應(yīng)用"兩大跨越式發(fā)展。該成果主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先