氮化鋁薄膜和高頻濾波器

新一代信息技術(shù)

高效率制備高品質(zhì)氮化鋁薄膜，并研究應(yīng)用于 4G、5G 通信(智能手機(jī)和基站)的高頻濾波器。制備薄膜質(zhì)量高于現(xiàn)有工藝，制備效率提高十倍以上。作為制備濾波器的關(guān)鍵薄膜性能指標(biāo)，薄膜的取向性良好（XRD搖擺曲線半高寬2度左右）， 薄膜表面起伏小于 1 納米；薄膜制備效率比傳統(tǒng)工藝提高 10 倍以上 

目前處于研發(fā)向應(yīng)用轉(zhuǎn)移階段，已經(jīng)完成薄膜新工藝的驗(yàn)證，在 8 寸園晶上制備出可用于高頻濾波器生產(chǎn)的質(zhì)量優(yōu)異的薄膜材料，并證明了器件制備的可行性。 

應(yīng)用于智能手機(jī)和基站的高頻濾波器，替代進(jìn)口，希望打入百億美元的濾波器市場。