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基于硅基微機械懸臂梁Ｔ型結直接加熱式毫米波信號檢測器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
信號檢測器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明的基于硅基微機械懸臂梁Ｔ型結直接加熱式毫米波信號檢測器，由懸臂梁耦合結構、Ｔ型結、直接加熱式微波功率傳感器和開關構成。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。功率通過第一直接加熱式微波功率傳感器進行檢測；頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在中心頻率處相位差為９０度的耦合信號的合成功率實現；相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為９０度的耦合信號，分別同兩路等分后的參考信號合
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