基于平面鏡反射的微懸臂梁偏轉檢測新技術

其它領域

基于平面鏡反射的微懸臂梁偏轉檢測新技術采用在檢測系統外添加平面鏡

的手段，進一步提高了微懸臂梁檢測的精確度，并且實現了同時對多根梁的往復

檢測、實時檢測。不僅有效的避免了因移動系統元件導致巨大誤差的缺點；而且

極大地提高了檢測的效率。該新技術具有檢測精度高、系統結構穩定、生產周期

短、成本相對較低、易實現產業化、具有顯著的經濟效益和社會效益。

國家發明專利授權：201420094273.2（授權），201410075534.0（實質審查）

試用

偏向分辨率：< 5nm；測量元件（單元）：5μl bio-compatible PEEK 流動 池；尺寸規格測量單元：59 cm×32 cm×25 cm；控制電子：14 cm×8 cm×28 cm； 液體流率：2.5μl/min