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一種非接觸式主動阻尼裝置
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
非接觸式主動阻尼
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種非接觸式主動阻尼裝置，包括阻尼器和驅動器兩部分，阻尼器和驅動器電氣連接，阻尼器包括固定不動的定子和與定子相分離的阻尼發生器，阻尼發生器相對于定子能夠在一個方向上運動。阻尼裝置由分離式動子和定子組成，通過主動控制方式調節驅動電路的驅動電流，從而實現阻尼力的主動控制。該阻尼裝置能夠實現對超精密減振器提供自適應變阻尼控制，有效地衰減減振臺的高頻振動。本發明可以為光刻機及其他的精密設備提供超靜的環境。本發明提供的阻尼裝置可用作小型超精密設備、精密儀器的基礎支撐。將本發明提供的阻尼裝置與空氣彈
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