一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置和方法

先進(jìn)制造與自動(dòng)化

本發(fā)明公開了一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置，包括：反 應(yīng)腔，其內(nèi)部形成的空腔用于作為前驅(qū)體與微納米顆粒的反應(yīng)空間； 多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置，其分別通過管道與所述反應(yīng)腔相通以提供不同的前驅(qū)體；載氣輸送系統(tǒng)，前驅(qū)體通過該載氣輸送系統(tǒng)輸出的載氣輸 送到反應(yīng)腔中；以及粉體顆粒裝載裝置，用于承載待修飾的微納米顆 粒；通過多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置分別向反應(yīng)腔交替地輸送前驅(qū)體，并進(jìn) 入旋轉(zhuǎn)的粉體顆粒裝載裝置中以與微納米顆粒表面接觸進(jìn)行原子層沉 積反應(yīng)，從而在微納米顆粒的表面形成包覆薄膜，實(shí)現(xiàn)表面修飾。本 發(fā)明還公開了利用

試用