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一種多自由度光學測量系統

2021-01-12 00:00:00
云上高博會 http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞: 光學測量
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

研發階段/n本發明公開了一種多自由度光學測量系統,可應用于二維小角度(或微位移)的測量。此種系統包括激光發射器、誤差敏感單元、光電接收單元以及信號處理單元。誤差敏感單元包括兩個直角棱鏡(2)、(3);光電接收單元包括光電接收器件(5)和準直物鏡(4);測量位移時須把準直物鏡(4)去掉。光電接收器件(5)置于準直物鏡(4)的焦平面上,半導體激光器(1)發出的基準光束經直角棱鏡(3)和直角棱鏡(2)反射后,通過準直物鏡(4)將其光斑成像在光電接收器件(5)的光敏面上,其中半導體激光器(1)和光電接收單元

項目階段:
小批量或小范圍應用
知識產權編號:
200910061970
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