主要技術要點（創新點） ：
? 采用空間 3-UPU 柔順并聯機構作為結構類型，與傳統微力傳感器的敏感元件
相比，具有高精度、高強度、無累積誤差等優點；
? 3 個支鏈相互垂直放置，并且每 1 條支鏈能感受某一方向的力，同時不會影響
其他支鏈的懸臂梁的應變，具有 3 維解耦力傳感特點；
? 采用 3-UPU 柔順并聯結構具有高固有頻率，具有頻寬范圍大的特點；
? 采用 2 對對稱的懸臂梁的應變形成全橋式電路作為輸出，具有溫度不敏感的
特點。
項目背景：
隨著精密工程技術、微機電系統(MEMS)技術及微/納米技術等的研究，微傳感器
技術得到極大發展，特別是微力傳感器，在各種微操作過程中執行對微接觸力的檢測，
實現力-位移或力-視覺等混合控制，對提高微操作系統的精度起到了重要作用。該成
果來源于胡俊峰副教授主持的國家自然科學基金項目《基于柔順機構的智能微操作機
器人動力學與控制研究》。