Φ1500 大尺寸超精密非球面車復合加工機床及應用工藝

其它領域

激光核聚變裝置、衛星用光學系統、大型天文望遠鏡等國家重大工程及國防尖端技術對高精度大口徑光學非球面元件（Φ400mm以上）有極大的需求。該類元件屬于硬脆性難加工材料，對非球面表面加工精度的要求也相當高，當前國內精密超精密加工技術及裝備與國外相比仍然存在階段性差距，技術整體水平落后于發達工業國家。 

針對國家對高精度大口徑非球面光學元件的重大需求，西安交通大學聯合國內超精密加工領域的優勢單位秦川機床、哈爾濱工業大學、北京空間機電研究所、廈門大學和蘇州大學，首次采用階梯梁結構成功研制出了國內首臺1500mm非球面超精密車磨復合加工機床，實現了典型加工件（Φ400mm以上）的面型精度優于5μm（PV），粗糙度小于10nm（RMS），同時研制出了1500mm大尺寸工件等應力支撐夾具和高精度工作轉臺（軸跳和徑跳均為0.3μm），開發了測量范圍可達1000mm的大尺寸非球面測量裝置，重復測量精度1μm。

試用