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超高遷移率二維半導體BOX

2021-04-11 00:00:00
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項目成果/簡介:

首次發現一類同時具有超高電子遷移率、合適帶隙、環境穩定和可批量制備特點的全新二維半導體(硒氧化鉍,Bi2O2Se),在場效應晶體管器件和量子輸運方面展現出優異性能。彭海琳課題組基于前期對拓撲絕緣體(Bi2Se3,Bi2Te3)等二維量子材料的系統研究,提出用輕元素部分取代拓撲絕緣體中的重元素,以降低重元素的自旋-軌道耦合等相對論效應,進而調控其能帶結構,消除金屬性拓撲表面態,獲得高遷移率二維半導體。經過材料的理性設計和數年的實驗探索,發現了一類全新的超高遷移率半導體型層狀氧化物材料Bi2O2Se,并利用化學氣相沉積(CVD)法制備了高穩定性的二維Bi2O2Se晶體。基于理論計算和電學輸運實驗測量,證明Bi2O2Se材料具有合適帶隙(~0.8 eV)、極小的電子有效質量(~0.14 m0)和超高的電子遷移率。系統的輸運測量表明:CVD制備的Bi2O2Se二維晶體在未封裝時的低溫霍爾遷移率可高于20000 cm2/V·s,展示了顯著的SdH量子振蕩行為;標準的Bi2O2Se頂柵場效應晶體管展現了很高的室溫表觀場效應遷移率(~2000 cm2/V·s)和霍爾遷移率(~450 cm2/V·s)、很大的電流開關比(>106)以及理想的器件亞閾值擺幅(~65 mV/dec)。二維Bi2O2Se這些優異性能和綜合指標已經超過了已有的一維和二維材料體系。Bi2O2Se這種高遷移率半導體特性還可能拓展到其他鉍氧硫族材料(BOX:Bi2O2S、Bi2O2Se、Bi2O2Te)。

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未應用
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