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一種用于廣義橢偏儀的光強自動調整裝置及其控制方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
廣義橢偏儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種廣義橢偏儀光強自動調整裝置及其控制方法。 裝置主要包括計算機、光譜儀、伺服電機控制器、直流伺服電機、增 量式編碼器和中性密度濾光片轉盤。在廣義橢偏儀硬件連接完成的情 況下，根據光譜儀采集的光譜曲線是否飽和以及是否絕大部分在光譜 儀線性響應區間來決定是否要轉動直流伺服電機，從而帶動中性密度 濾波片轉盤轉動以切換中性密度濾波片來改變光源照射出來的光強大 小。本發明可以實現對雙旋轉補償器廣義橢偏儀光強自動調整，且響 應快速，操作簡單。
項目階段:
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