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一種六自由度磁浮微動臺
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
磁浮微動臺
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及一種六自由度磁浮微動臺，包括布置在微動臺動子基板的兩自由度電磁力驅動單元，驅動微動臺實現 X、Y、Z、θ<sub>x</sub>、θ<sub>y</sub>、θ<sub>z</sub>6 個自由度的運動。每個兩自由度電磁力驅動單元包括粘接永磁體、豎直向、水平環繞線圈，粘接永磁體由三塊磁化方向不同的永磁體粘接而成，固定在正方形托盤底部；豎直向線圈提供垂向力，水平環繞線圈提供水平力，二者都固定在定子上。本發明線圈部分磁通密度大，磁感線方向、電流方向、目標推力方向相互正交，使其在單位電流下獲得較大推力，由電磁力直接驅動，不存在機械摩擦，具有較高的位移分辨率，而且結構簡單、緊湊，易于安裝調試，可用于在微米行程實現納米級定位的超精密加工和半導體制造中。
項目階段:
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