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南京大學
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【政府采購意向】快速退火爐
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A02330300 電子工業生產設備
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】快速退火爐
預算金額：340 萬元
采購需求：
采購快速退火爐兩臺，參數性能滿足：不低于6英寸晶圓，最高溫度不低于1200度，溫度差異低于±2度，溫度均勻性0.5%，升溫速率100度/秒，6-8寸樣品臺，配機械泵抽真空，氣體Ar，N2，O2；服務要求：可提供技術支持和售后服務，設備質保期12個月。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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