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【政府采購意向】等離子體ICP-RIE刻蝕機
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A02330300 電子工業生產設備
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】等離子體ICP-RIE刻蝕機
預算金額：390 萬元
采購需求：
采購等離子體ICP-RIE刻蝕機一臺，參數性能滿足：-40到300℃，8氣路，RF功率0到600W，ICP功率0到1500W；服務要求：可提供技術支持和售后服務，設備質保期12個月。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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