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教育部
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【政府采購(gòu)意向】磁控濺射
2022-12-16 14:30:26
云上高博會(huì)
http://www.gxf2npi.xyz
招標(biāo)單位：
招標(biāo)年份：
所屬地區(qū)：
招標(biāo)類型：
采購(gòu)方式：
項(xiàng)目概況：
采購(gòu)品目：A02052402 真空應(yīng)用設(shè)備
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間：2022-11
項(xiàng)目基本情況：
項(xiàng)目名稱：【政府采購(gòu)意向】磁控濺射
預(yù)算金額：580 萬(wàn)元
采購(gòu)需求：
采購(gòu)磁控濺射一臺(tái)，參數(shù)性能滿足：真空度1E-9torr，6個(gè)2寸或4寸靶，至少2個(gè)射頻源，600W射頻源，1000W DC源，不小于150mm襯底托盤(pán)帶旋轉(zhuǎn)加熱冷卻，不低于100WDC偏執(zhí)，有l(wèi)oadlock，可通載氣或保護(hù)氣體（Ar，N2，O2等），樣品臺(tái)溫度800℃；服務(wù)要求：可提供技術(shù)支持和售后服務(wù)，設(shè)備質(zhì)保期12個(gè)月。
提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開(kāi)標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)：
截止時(shí)間：2022-11-30 00:00
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