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【政府采購意向】雙傾角鍍膜機
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】雙傾角鍍膜機
預算金額：650 萬元
采購需求：
名稱：雙傾角鍍膜儀 主要功能：該設備必須能夠成熟用于超導約瑟夫森結的制備，整套超高真空多腔體電子束鍍膜系統滿足4英寸晶圓上的超導器件的制備，兼容2英寸晶圓以及其他小于4英寸的晶圓襯底。該系統至少包含真空連接的離子束刻蝕室、電子束蒸發室、氧化室三個腔室，全部腔體采用不銹鋼制造。設備可以對晶圓襯底進行清潔、電子束蒸鍍超導金屬薄膜（例如鋁膜）、超導膜層氧化、超導膜層刻蝕，從而用于超導約瑟夫森結的制備。樣品傳送、工藝處理、真空管理等流程全部自動化，同時還具有緊急停機、安全互鎖、斷電自我保護等功能。 采購數量：1套 質量：滿足國家相關質量標準或原產地質量標準。 服務及時限：對相關的技術問題能在48小時內及時進行響應，并通過電話、傳真、郵件等形式及時進行指導加以排除；若通過電話、傳真、郵件等在5個工作日內仍不能解決問題：簡單問題供方國內工程師3個工作日上門檢修，復雜問題供方國外工程師3-6周內上門檢修。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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