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【政府采購意向】原子層沉積系統
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A02100499 其他分析儀器
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】原子層沉積系統
預算金額：120 萬元
采購需求：
原子層沉積設備用于各類粉體材料、平面樣品表面的薄膜沉積。采購需要滿足平 面樣品的批量制備（2cm*2cm 樣品片不少于 100 片/批次）；通過轉動模塊加裝，可實現粉末樣品的批量制備（ 1 克/批次）；惰性環境樣品加裝，即 ALD 設備與手套箱銜接，可應用于各類水氧敏感樣品的 ALD 制造；反應器尺寸升級，平面樣品最大可處理尺寸擴展為 60mm；平面樣品薄膜沉積過程中可在反應器出 口加裝石英晶體微天平用于薄膜沉積過程監控等。薄膜沉積過程控制精度達到 0.01-0.5 納 米/周期，反應器內部平面基底表面薄膜厚度不均勻度不高于 2%，不同批次薄膜厚度不均勻度不高于 3%。設備整體采用模塊化設計，后期可根據用戶需求以較小代價對設備相關部件進行改裝，實現常規功能擴充及某些特殊功能拓展，例如：擴充前驅體注入模塊；在反應系統上加載膜厚儀、紅外、質譜等原位表征裝置；實現特異形狀工件外壁或內壁薄膜沉積等。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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